[实用新型]一种密闭式坩埚

权利要求书

1.一种密闭式坩埚，其包括：

–具有放置材料的腔室的坩埚主体，

–对坩埚主体的腔室进行覆盖密封的盖板；

其特征在于，所述密闭式坩埚还包括与所述盖板连接的气压驱动装置，所述气压驱动装置驱动盖板相对于坩埚主体上的腔室移动，从而开启和关闭坩埚主体上的腔室，

所述气压驱动装置如下构造：所述气压驱动装置包括气缸，所述气缸内设置有间隔件，所述间隔件被配置为在气压作用下相对于气缸移动并将所述气缸分隔成第一气室和第二气室，所述第一气室设置有与外界联通的第一阀门，所述第二气室设置有与外界联通的第二阀门，所述间隔件上位于第一气室的一侧设置有连接所述盖板的驱动杆，所述驱动杆被配置为驱动所述盖板移动进而密闭或开启坩埚主体上的腔室。

2.根据权利要求1所述的密闭式坩埚，其特征在于，使用开口来替代所述第一阀门，使得所述第一气室始终与外界联通。

3.根据权利要求1所述的密闭式坩埚，其特征在于，驱动杆在第一气室侧的端部固定连接所述盖板，所述驱动杆被配置为带动所述盖板一起竖向地移动。

4.根据权利要求1所述的密闭式坩埚，其特征在于，驱动杆在第一气室侧的端部设置有螺旋形纹路，所述驱动杆通过该螺旋形纹路与盖板连接，所述驱动杆被配置为通过所述螺旋形纹路将所述驱动杆的竖向移动转换成所述盖板的水平移动。

5.根据权利要求1所述的密闭式坩埚，其特征在于，所述间隔件为密封螺纹管，在密封螺纹管的管内形成第一气室，在密封螺纹管和气缸间形成第二气室，所述密封螺纹管能在第一气室和第二气室内的气压作用下伸长或缩短，位于第一气室的一侧的密封螺纹管上设置有所述盖板的驱动杆，所述驱动杆被配置为驱动所述盖板移动进而密闭或开启坩埚主体的腔室。

6.根据权利要求1所述的密闭式坩埚，其特征在于，所述间隔件为与气缸的壁贴合的密封片，在密封片的一侧形成第一气室，在密封片的另一侧形成第二气室，所述密封片能在第一气室和第二气室内的气压作用下在气缸内移动，所述密封片上位于第一气室的一侧连接所述驱动杆。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的密闭式坩埚，其特征在于，所述坩埚主体为圆柱体结构或立方体结构或长方体结构。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的密闭式坩埚，其特征在于，所述第一阀门和/或第二阀门设置在相应的气室的垂直于间隔件移动方向的端部。