[实用新型]一种密闭式坩埚

说明书

本实用新型涉及一种密闭式坩埚，包括：具有放置材料的腔室的坩埚主体，对坩埚主体的腔室进行覆盖密封的盖板；密闭式坩埚还包括与盖板连接的气压驱动装置，气压驱动装置驱动盖板相对于腔室移动，从而开启和关闭腔室；气体驱动装置包括气缸，气缸内设置有间隔件，间隔件被配置为在气压作用下相对于气缸移动并将气缸分隔成第一气室和第二气室，第一气室设置第一阀门，第二气室设置第二阀门，间隔件上位于第一气室的一侧设置有连接盖板的驱动杆，驱动杆配置为驱动盖板移动进而密闭或开启腔室。本实用新型能够防止材料因为暴露大气而吸附水分或者被氧化而变质，并能保证操作人员的安全。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种用于蒸镀领域的可自动密封和开启的密闭式坩埚。

背景技术

当前，在使用蒸镀技术制造显示面板的工艺中，将蒸镀材料放置在开放的坩埚中，然后再将坩埚放置到蒸镀设备中的工艺室进行蒸镀操作。随着蒸镀过程的进行，坩埚中的蒸镀材料会逐渐减少，直至坩埚内的材料使用完成为止。这时，需要将工艺室打开，进行人为地蒸镀材料填充工作。在打开工艺室进行蒸镀材料的填充过程中，消耗了很多的人力和时间。并且在填料和将坩埚置于蒸镀设备中并将蒸镀设备抽真空的过程中，蒸镀材料会一直暴露于大气环境之下，这对于吸水性材料和活泼金属材料例如镁、银而言，空气中含有的水份和氧气成分会使开放式坩埚内所放置的蒸镀材料发生变质，进而会影响蒸镀效果。另外，在蒸镀过程进行期间，如果发生意外状况需要将蒸镀设备的工艺室打开的情况，那么开放式坩埚内的材料不可避免地会受到污染，此时，就必须更换材料，造成了蒸镀材料的浪费。

在另外一方面，对于部分毒性较大的材料，开放式坩埚不能保证操作人员例如坩埚材料的填充人员的安全，可能会对操作人员的健康造成威胁。

实用新型内容

为了克服部分或全部的上述缺陷，本实用新型提出了一种密闭式坩埚，该密闭式坩埚与手套箱配合使用，能够自动地实现密闭功能并且能在手套箱内开启以实现填料。

根据本实用新型的一种密闭式坩埚包括：

–具有放置材料的腔室的坩埚主体，

–对坩埚主体的腔室进行覆盖密封的盖板，

其中，所述密闭式坩埚还包括与所述盖板连接的气压驱动装置，所述气压驱动装置驱动盖板相对于坩埚主体上的腔室移动，从而开启和关闭坩埚主体上的腔室，

所述气压驱动装置如下构造：所述气体驱动装置包括气缸，所述气缸内设置有间隔件，所述间隔件被配置为在气压作用下相对于气缸移动并将所述气缸分隔成第一气室和第二气室，所述第一气室设置有与外界联通的第一阀门，所述第二气室设置有与外界联通的第二阀门，所述间隔件上位于第一气室的一侧设置有连接所述盖板的驱动杆，所述驱动杆被配置为驱动所述盖板移动进而密闭或开启坩埚主体上的腔室。

根据本实用新型的密闭式坩埚，可以具有如下有利方面：

有利地，使用开口来替代所述第一阀门，使得所述第一气室始终与外界联通；

有利地，驱动杆在第一气室侧的端部固定连接所述盖板，所述驱动杆被配置为带动所述盖板一起竖向地移动；

有利地，驱动杆在远离间隔件的端部设置有螺旋形纹路，所述驱动杆通过该螺旋形纹路与盖板连接，所述驱动杆被配置为将所述驱动杆的竖向移动通过所述螺旋形纹路转换成所述盖板的水平移动；

有利地，所述间隔件为密封螺纹管，在密封螺纹管的管内形成第一气室，在密封螺纹管和气缸间形成第二气室，所述密封螺纹管能在第一气室和第二气室内的气压作用下伸长或缩短，位于第一气室的一侧的密封螺纹管上设置有所述盖板的驱动杆，所述驱动杆被配置为驱动所述盖板移动进而密闭或开启坩埚主体的腔室；