[实用新型]一种分选机有效
| 申请号： | 201721220469.1 | 申请日： | 2017-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN207430720U | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 林桂绮;张虎;周立;颜云海;邱智中;张家宏 | 申请（专利权）人： | 安徽三安光电有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/02 | 分类号： | B07C5/02;B07C5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 241000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶粒 分选机 下压机构 半导体设备 本实用新型 覆盖薄膜 真空平台 分选 吸附 吸嘴 压出 脏污 | ||
1.一种分选机，用于分选晶片上的晶粒，其特征在于,至少包括进料单元、第一移送单元、收料单元和第二移送单元，
所述进料单元包括用于承载晶片的环形载台和位于所述环形载台下方的第一移动滑轨，所述环形载台沿第一移动滑轨移动；
所述第一移送单元设置于进料单元的上方，包括下压晶粒的下压机构和驱动下压机构升降的第一驱动机构；
所述收料单元设置于进料单元的下方，包括中心具有开口的固晶平台、位于所述开口内并相对于所述固晶平台升降的真空平台、以及位于所述固晶平台下方的第二移动滑轨，所述固晶平台沿第二移动滑轨移动，所述真空平台上设置有若干个阵列的真空孔，待分选晶粒在所述下压机构的压力下吸附于真空孔上；
所述第二移送单元位于收料单元的一侧，用于转移收料单元上的晶粒。
2.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述第二移送单元包括薄膜卷、拉膜杆、压膜滚轮和切刀，所述拉膜杆设置于薄膜卷的一端部，所述压膜滚轮位于薄膜卷的上方，所述切刀位于薄膜卷和收料单元之间。
3.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述真空平台还包括位于真空孔下部的真空抽取机构和位于真空抽取机构下部的使真空平台升降的第二驱动机构。
4.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述分选机还包括驱动第一移动单元位移的第三驱动机构。
5.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述真空平台与所述固晶平台内侧壁之间设置有第三移动滑轨。
6.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述第一移动滑轨包括呈正交状排列的第一纵移轨道和第一横移轨道。
7.根据权利要求1所述的一种分选机，其特征在于：所述第二移动滑轨包括呈正交状排列的第二纵移轨道和第二横移轨道。
8.根据权利要求5所述的一种分选机，其特征在于：所述第三移动滑轨为设置于固晶平台内侧壁的竖直轨道。
9.根据权利要求2所述的一种分选机，其特征在于：所述第二移送单元还包括位于收料单元另一侧的固定环放置架。
10.根据权利要求9所述的一种分选机，其特征在于：所述第二移送单元还包括位于收料单元和固定环放置架之间的机械手。
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