[实用新型]防粘合硅片花篮

权利要求书

1.一种防粘合硅片花篮，其特征在于，包括上端板、下端板，所述上端板具有上左侧板、上右侧板、上连接板，所述下端板具有下左侧板、下右侧板、下连接板，所述上左侧板、下左侧板的外侧均设置有左侧凸柱，所述上右侧板、下右侧板的外侧均设置有右侧凸柱，所述上连接板与下连接板之间设置有至少1个连接柱，所述上连接板、下连接板的外侧中部均设置有中部凸柱，所述左侧凸柱、右侧凸柱、中部凸柱的中间部分的直径小于其两端部分的直径，所述上左侧板与下左侧板之间、所述上右侧板与下右侧板之间分别设置有花篮侧板，所述花篮侧板内侧等距离分布有多个隔片，相邻两隔片之间形成用于存放硅片的卡槽，所述隔片上表面均匀凸设有4个圆弧凸起，所述隔片下表面均匀凸设有4个圆弧凸起，所述隔片上表面的圆弧凸起与下表面的圆弧凸起位于不同竖直线上，所述隔片于硅片进入的一端为圆弧面。

2.根据权利要求1所述的防粘合硅片花篮，其特征在于，所述卡槽与硅片大小相适应。

3.根据权利要求1所述的防粘合硅片花篮，其特征在于，所述上端板、下端板与所述花篮侧板分别通过螺栓连接。

4.根据权利要求1所述的防粘合硅片花篮，其特征在于，所述左侧凸柱、右侧凸柱、中部凸柱的轴心处分别开设有圆孔。

5.根据权利要求1所述的防粘合硅片花篮，其特征在于，所述花篮侧板采用合金塑料注塑而成。

6.根据权利要求1所述的防粘合硅片花篮，其特征在于，所述上连接板与下连接板之间设置有3个连接柱。