[实用新型]防粘合硅片花篮

说明书

技术领域

本申请涉及硅片花篮，特别是涉及一种防粘合硅片花篮。

背景技术

硅片花篮对于硅片的流转、清洗、检测等起到承载作用，但是现有技术中的硅片花篮容易粘合在承载面上，并且因为硅片有一定的可弯曲性，在受到外力影响下相邻的两硅片之间有出现粘合现象，导致破碎，并且清洗烘干不彻底。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种防粘合硅片花篮，以克服现有技术的不足。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案。

本申请实施例公开了一种防粘合硅片花篮，包括上端板、下端板，所述上端板具有上左侧板、上右侧板、上连接板，所述下端板具有下左侧板、下右侧板、下连接板，所述上左侧板、下左侧板的外侧均设置有左侧凸柱，所述上右侧板、下右侧板的外侧均设置有右侧凸柱，所述上连接板与下连接板之间设置有至少1个连接柱，所述上连接板、下连接板的外侧中部均设置有中部凸柱，所述左侧凸柱、右侧凸柱、中部凸柱的中间部分的直径小于其两端部分的直径，所述上左侧板与下左侧板之间、所述上右侧板与下右侧板之间分别设置有花篮侧板，所述花篮侧板内侧等距离分布有多个隔片，相邻两隔片之间形成用于存放硅片的卡槽，所述隔片上表面均匀凸设有4个圆弧凸起，所述隔片下表面均匀凸设有4个圆弧凸起，所述隔片上表面的圆弧凸起与下表面的圆弧凸起位于不同竖直线上，所述隔片于硅片进入的一端为圆弧面。

优选的，在上述的防粘合硅片花篮中，所述卡槽与硅片大小相适应。

优选的，在上述的防粘合硅片花篮中，所述上端板、下端板与所述花篮侧板分别通过螺栓连接。

优选的，在上述的防粘合硅片花篮中，所述左侧凸柱、右侧凸柱、中部凸柱的轴心处分别开设有圆孔。

优选的，在上述的防粘合硅片花篮中，所述花篮侧板采用合金塑料注塑而成。

优选的，在上述的防粘合硅片花篮中，所述上连接板与下连接板之间设置有3个连接柱。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于卡槽内存放硅片，花篮侧板的隔片由于圆弧凸起的设置，使得隔片与硅片之间为点接触，不会与承载面粘合，由于圆弧凸起均匀排列，而且每一侧均设置有4个，所以相邻两个硅片之间不会粘合，从而不会影响后续操作流程，比如清洗烘干等；硅片进行流转、清洗、检测等工序时不需要另外的流转框、清洗框、检测框等，可以利用左侧凸柱、右侧凸柱将硅片花篮吊起，进行流转运输，可以利用中部凸柱卡在相应的槽口里，使得硅片在清洗、检测时能够有效的固定。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1所示为本实用新型具体实施例中防粘合硅片花篮的立体结构示意图；

图2所示为本实用新型具体实施例中防粘合硅片花篮的花篮侧板局部放大图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。