[实用新型]一种有机真空镀膜掩膜装置有效
| 申请号： | 201721226927.2 | 申请日： | 2017-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN207435532U | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 周焱文 | 申请（专利权）人： | 武汉普迪真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/50 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 旋转轴 样品架 有机真空镀膜 本实用新型 步进电机 掩膜装置 上端 升降轴 旋转盘 真空室 上盖 通孔 磁流体密封装置 真空机械手 定位装置 公转系统 均布设置 样品制备 依次设置 自转系统 机械手 导向套 掩模板 弹簧 贯穿 镀膜 刮伤 膜层 制备 保证 | ||
1.一种有机真空镀膜掩膜装置，其特征在于，包括样品架和若干均布设置在样品架上的掩膜板系统；
所述样品架包括样品旋转轴和设置在样品旋转轴下端的旋转盘，所述样品旋转轴上端通过通孔贯穿真空室上盖，所述通孔上设置有磁流体密封装置，所述样品旋转轴上端连接有步进电机，所述步进电机上设置有定位装置，所述旋转盘上设置有与掩膜板系统对应的若干样品座，所述样品座内放置样品，所述样品上方放置有压块；
所述掩膜板系统包括升降轴、与样品座相配合并设置在旋转盘下方的掩膜板座和放置在掩膜板座内的掩膜板，所述升降轴从下往上依次设置有掩膜板座、旋转盘、导向套、弹簧和机械手引导块，所述升降轴与掩膜板座和旋转盘可转动连接，所述机械手引导块固定在升降轴上端；
其中，所述真空室上盖还贯穿设置有真空机械手，所述真空机械手到样品旋转轴的距离与机械手引导块到样品旋转轴的距离等距。
2.根据权利要求1所述的一种有机真空镀膜掩膜装置，其特征在于：所述定位装置由光电开关控制。
3.根据权利要求1所述的一种有机真空镀膜掩膜装置，其特征在于：所述真空机械手采用磁力驱动结构。
4.根据权利要求3所述的一种有机真空镀膜掩膜装置，其特征在于：所述磁力驱动机构由内磁环与外磁环组成。
5.根据权利要求1所述的一种有机真空镀膜掩膜装置，其特征在于：所述机械手引导块与升降轴上端为过盈配合。
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