[实用新型]探针卡和测试系统

权利要求书

1.一种在用于测试可磁致动器件的系统中使用的探针卡，其特征在于，包括：

集成电路板，具有在所述探针卡的探针尖端处的第一贯通开口；

壳体结构，包括平面区域，所述平面区域包围至少一个座，所述至少一个座从所述平面区域突出并且至少部分地延伸通过所述第一贯通开口；以及

磁性元件，被布置在所述壳体结构的每个座中，所包括的所述磁性元件被配置成生成测试磁场，所述测试磁场用于在可磁致动器件的测试阶段期间磁致动所述可磁致动器件。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其中所述至少一个座包括至少三个座，其中所述至少三个座彼此相邻地延伸，并且其中每个座安置相应的磁性元件，所包括的所述磁性元件被相互布置以便生成磁场，所述磁场在所述可磁致动器件的方向上具有第一强度，并在相反方向上具有低于所述第一强度的第二强度。

3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所包括的所述磁性元件被相互布置以形成海尔贝克阵列。

4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还包括铁磁材料的盖，所述铁磁材料的盖被布置在所述至少一个座上以及在所述至少一个座内的所述磁性元件上。

5.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还包括：

非磁性材料的盖，被布置在所述至少一个座上以及在所述至少一个座内的所述磁性元件上；以及

μ-金属的屏蔽层，在所述盖的上方延伸。

6.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，还包括：

支撑结构，展示出第二贯通开口和至少部分包围所述第二贯通开口的侧壁，所述侧壁被设置有相应的第一引导件；以及

第一滑动件，被配置为在所述第一引导件中滑动，

其中所述一个或多个座延伸通过所述第二贯通开口。

7.根据权利要求6所述的探针卡，其特征在于，所述支撑结构具有被所述侧壁包围的底侧，并且其中所述壳体结构的所述平面区域在所述底侧和所述第一滑动件之间延伸，所述第二贯通孔延伸通过所述底侧。

8.根据权利要求6所述的探针卡，其特征在于，所述第一引导件由所述侧壁中的相应的凹部形成，所述第一滑动件具有锥形的外围区域，所述外围区域被配置为在所述凹部中滑动。

9.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述壳体结构包括：

第二引导件，沿与所述至少一个座延伸的方向相反的方向从所述平面区域突出，

第二滑动件，被配置为在所述第二引导件中滑动，以便覆盖以及备选地不覆盖所述至少一个座。

10.根据权利要求9所述的探针卡，其特征在于，所述至少一个座包括至少九个座，所述至少九个座被彼此相邻地相互布置以形成3x3矩阵结构，所述第二滑动件在关闭操作期间、以每次覆盖所述至少九个座中的一个座的方式而被模制。

11.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述可磁致动器件包括磁致动悬挂结构，所述磁致动悬挂结构可围绕第一旋转轴线和第二旋转轴线移动，并且其中所述至少一个座是多个座，

所述可磁致动器件、所述集成电路板和所述壳体结构被相互布置成，使所述测试磁场被定向成相对于所述可磁致动器件的所述悬挂结构的所述第一旋转轴线和所述第二旋转轴线成大约45°。