[实用新型]探针卡和测试系统

说明书

本公开涉及一种探针卡和测试系统。探针卡装配在用于测试微机电器件的系统中，该微机电器件具有对磁场敏感的元件。探针卡由PCB形成，PCB具有贯通开口以及探针尖端，用于电接触微机电器件。壳体结构被容纳在贯通开口内。壳体结构包括平面外围区域，该平面外围区域包围至少部分地突出且延伸到贯通开口中的座。磁性元件被布置在座中，其中磁性元件被布置以生成测试磁场，该测试磁场用于微机电器件的测试操作。

技术领域

本公开涉及一种用于可磁致动或可电磁致动器件的探针卡，特别是包括可磁致动的振荡元件的MEMS(微机电系统)器件。MEMS器件可以是微镜。本公开还涉及包括探针卡的测试机器或系统。

背景技术

具有使用半导体材料技术制造的微镜结构的微机械器件在本领域中是已知的。

这种微机械器件用于便携式器件，诸如便携式计算机、笔记本电脑、笔记本(包括超薄笔记本电脑)、PDA、平板电脑、智能手机，以及用于光学应用，特别是引导使用所需方法的、由光源生成的辐射光束。

凭借小尺寸，通过这种器件在面积和深度方面可以满足空间占用的严格要求。

微镜器件通常包括悬挂在腔上方的镜元件，并且由半导体材料体制成，以便例如通过滚动和倾斜移动可移动。

镜元件的旋转借助于目前为静电、电磁或压电类型的致动系统来控制。

认识到对这些MEMS器件的操作执行测试的需要；然而，目前已知用于测试磁或电磁致动的MEMS器件的系统受到用于测试的磁场发生器和测试机的电子电路(晶片探测器和测试仪)之间的电磁干扰现象的限制。此外，由于难以在这种系统内集成磁场发生器，在制造可用于这种系统中的探针卡中也遇到了问题。

因此，本领域需要一种用于可磁致动或可电磁致动器件的探针卡，以及包括适于克服上述困难和限制的探针卡的测试系统。

发明内容

本公开提供一种探针卡和测试系统，用于测试磁或电磁致动的MEMS器件，能够克服电磁干扰现象的限制。

根据本公开的第一方面，提供一种在用于测试可磁致动器件的系统中使用的探针卡，该探针卡包括：集成电路板，具有在该探针卡的探针尖端处的第一贯通开口；壳体结构，包括平面区域，该平面区域包围至少一个座，该至少一个座从该平面区域突出并且至少部分地延伸通过该第一贯通开口；以及磁性元件，被布置在该壳体结构的每个座中，所包括的该磁性元件被配置成生成测试磁场，该测试磁场用于在可磁致动器件的测试阶段期间磁致动该可磁致动器件。

根据本公开的第二方面，提供一种测试系统，该测试系统包括：卡盘，被布置成支撑半导体材料的晶片，该晶片包括可磁致动器件；探针卡；晶片探针，被机械地耦合到该探针卡，该晶片探针被配置为移动该卡盘，以使该可磁致动器件的选定部分与该探针卡的相应探针尖端电耦合；以及数据处理电路，被电耦合到该探针卡，该数据处理电路被配置为借助于该探针卡来将电测试信号馈送到该可磁致动器件，并且对在该可磁致动器件的磁致动期间、经由该探针卡而从该可磁致动器件接收的响应信号进行处理；其中该探针卡包括：集成电路板，具有在该探针卡的探针尖端处的第一贯通开口；壳体结构，包括平面区域，该平面区域包围至少一个座，该至少一个座从该平面区域突出并且至少部分地延伸通过该第一贯通开口；以及磁性元件，被包括在每个座内，所包括的该磁性元件被配置为生成测试磁场，该测试磁场用于在该可磁致动器件的测试阶段期间磁致动该可磁致动器件。