[实用新型]盲孔化学沉积装置有效
| 申请号： | 201721242469.1 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN207150978U | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 徐永伯;黄品椿;朱科星;张长树 | 申请（专利权）人： | 苏州创峰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/42 | 分类号： | H05K3/42 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙)11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 215100 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种盲孔化学沉积装置，其特征在于包括：
药液槽，用于盛入药液；
传输机构，用于输送基材，其设于所述药液槽内，并包括多个平行且间隔设置的上输送滚轮组和下输送滚轮组；
药液喷射机构，用于向所述基材喷射液体，其包括上水刀和/或下水刀；
超音波机构，用于促进盲孔震动以使所述盲孔内的气泡溢出，其包括复数组下超音波组。
2.根据权利要求1所述的盲孔化学沉积装置，其特征在于：所述下超音波组平行于所述下输送滚轮组的下固定轴以及固设于所述下固定轴上的下超音波。
3.根据权利要求1所述的盲孔化学沉积装置，其特征在于：所述下超音波组位于相邻的两个所述下输送滚轮组之间或位于相邻的两个所述下输送滚轮组之间的下方。
4.根据权利要求1所述的盲孔化学沉积装置，其特征在于：所述的复数组下超音波组并排排列。
5.根据权利要求1所述的盲孔化学沉积装置，其特征在于：所述药液喷射机构包括复数个所述下水刀，所述下水刀位于相邻的两个所述下输送滚轮组之间或位于相邻的两个所述下输送滚轮组之间的下方。
6.根据权利要求1所述的盲孔化学沉积装置，其特征在于：所述上输送滚轮组包括传动轴和复数个套设于所述传动轴上的上滚轮，所述下输送滚轮组包括传动轴和复数个套设于所述传动轴上的下滚轮。
7.根据权利要求6所述的盲孔化学沉积装置，其特征在于：所述传动轴通过齿轮组与驱动机构连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州创峰光电科技有限公司，未经苏州创峰光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721242469.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：螺母(SFU)
- 下一篇：一种用于光电机一体化的折叠机构
