[实用新型]一种单晶炉的高真空炉体有效
| 申请号： | 201721244768.9 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN207331106U | 公开（公告）日： | 2018-05-08 |
| 发明（设计）人： | 胡治军 | 申请（专利权）人： | 安徽中晶光技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 233000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 真空炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉的高真空炉体，其特征在于：包括炉体（1），炉体（1）通过第一管道（3）连接真空罐（2），真空罐（2）通过第二管道（6）连接扩散泵（5），扩散泵（5）通过第三管道（8）连接真空泵（7）；
所述炉体（1）包括一侧为敞口的炉箱（11），在炉箱（11）的敞口一侧转动连接炉门（12），在接炉门（12）与炉箱（11）的连接处设有第一密封垫；
在所述炉箱（11）上侧设有安装槽（17），安装槽（17）的中心设有让位孔（18）；
在所述炉门（12）外侧设有观察窗（19），观察窗（19）中心设有观察孔（14），在观察孔（14）外侧设有透明板（13），在透明板（13）与观察窗（19）之间设有第二密封垫；
在所述炉门（12）外侧的四个拐角处均设有用于锁紧炉门（12）的锁紧件（16）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的高真空炉体，其特征在于：在所述第一管道（3）、第二管道（6）和第三管道（8）上均连接控制阀。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉的高真空炉体，其特征在于：在所述第一管道（3）上还连接波纹管（4）。
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