[实用新型]一种单晶炉的高真空炉体

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉的高真空炉体，包括炉体（1），炉体（1）包括一侧为敞口的炉箱（11），在炉箱（11）的敞口一侧转动连接炉门（12），在接炉门（12）与炉箱（11）的连接处设有第一密封垫，炉体（1）通过第一管道（3）连接真空罐（2），真空罐（2）通过第二管道（6）连接扩散泵（5），扩散泵（5）通过第三管道（8）连接真空泵（7）。本实用新型的优点：本实用新型对传统的单晶炉进行改进，炉体密封效果好，抽真空时多增加了扩散泵，在真空泵对炉体抽真空完成时，对炉体进行二次抽真空，使炉内达到高真空状态，避免炉内混入杂质气体，降低了对铱锅中的原料铱的损耗，间接降低了成本。

技术领域

本实用新型涉及钒酸钇晶体技术领域，尤其涉及一种单晶炉的高真空炉体。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

现今市场上单晶炉在经过一段时间作业后，会存在单晶炉内无法继续保持高真空状态的问题，这样会使单晶炉中存在一定量的气体，这些气体内必然会存在一些杂质，这些杂质会影响到晶体的生长，在单晶炉工作时，会对铱锅中的原料铱造成一定的损耗，从而造成生产成本的提高。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种单晶炉的高真空炉体。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种单晶炉的高真空炉体，其特征在于：包括炉体，炉体通过第一管道连接真空罐，真空罐通过第二管道连接扩散泵，扩散泵通过第三管道连接真空泵。

优选地，所述炉体包括一侧为敞口的炉箱，在炉箱的敞口一侧转动连接炉门，在接炉门与炉箱的连接处设有第一密封垫。

优选地，在所述炉箱上侧设有安装槽，安装槽的中心设有让位孔。

优选地，在所述炉门外侧设有观察窗，观察窗中心设有观察孔，在观察孔外侧设有透明板，在透明板与观察窗之间设有第二密封垫。

优选地，在所述炉门外侧的四个拐角处均设有用于锁紧炉门的锁紧件。

优选地，在所述第一管道、第二管道和第三管道上均连接控制阀。

优选地，在所述第一管道上还连接波纹管。

本实用新型的优点在于：本实用新型对传统的单晶炉进行改进，炉体密封效果好，抽真空时多增加了扩散泵，在真空泵对炉体抽真空完成时，对炉体进行二次抽真空，使炉内达到高真空状态，避免炉内混入杂质气体，降低了对铱锅中的原料铱的损耗，间接降低了成本。

附图说明

图1是本实用新型的基本结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1所示，本实用新型提供的一种单晶炉的高真空炉体，其特征在于：包括炉体1，炉体1包括一侧为敞口的方形炉箱11，在炉箱11上侧设有安装槽17，安装槽17的中心设有让位孔18。在安装槽17内固定连接提升杆座，提升杆从让位孔18内穿过，安装槽17能使提升杆座与炉箱11更好的密封。

在炉箱11的敞口一侧通过铰链转动连接炉门12，在接炉门12与炉箱11的连接处设有第一密封垫，第一密封垫为真空密封垫。