[实用新型]一种研磨液混合供应设备

权利要求书

1.一种研磨液混合供应设备，包括箱体(22)，其特征在于：所述箱体(22)顶部安装有抽风装置(1)、洁净送风装置(2)，所述箱体(22)内设有溶液桶一(3)、溶液桶二(4)、混合桶槽(10)、水气混合罐体(16)，所述溶液桶一(3)和溶液桶二(4)中不同研磨液在混合桶槽(10)中任意比例混合，所述混合桶槽(10)底部设有底部电子称(11)，所述底部电子称(11)通过线路连接工业电脑(5)，所述混合桶槽(10)中设有搅拌桨(8)、搅拌管(9)，所述搅拌桨(8)连接在搅拌电机(6)输出端，所述搅拌管(9)连接搅拌供应泵(12)，所述搅拌供应泵(12)与供应出口(21)相连，所述混合桶槽(10)内顶部安装有高纯水喷头(7)，所述高纯水喷头(7)用于清洗混合桶槽(10)，所述水气混合罐体(16)中设有干燥氮气管(14)、超纯水管(15)，所述干燥氮气管(14)底端连接有氮气混合板(19)，所述氮气混合板(19)上方设置有扰流板(18)，所述干燥氮气管(14)中氮气经氮气混合板(19)和扰流板(18)共同作用变为湿润氮气，所述水气混合罐体(16)顶端的湿润氮气管(13)连接至混合桶槽(10)内。

2.如权利要求1所述的研磨液混合供应设备，其特征在于：所述水气混合罐体(16)侧面安装有补水传感器(17)，所述补水传感器(17)用于监控水气混合罐体(16)内水位高低。

3.如权利要求1或2所述的研磨液混合供应设备，其特征在于：所述混合桶槽(10)四周平滑过渡，所述混合桶槽(10)底部采用锥度设计。

4.如权利要求3所述的研磨液混合供应设备，其特征在于：所述水气混合罐体(16)顶部侧面连接有泄压管(20)，所述泄压管(20)采用双S型结构。

5.如权利要求4所述的研磨液混合供应设备，其特征在于：所述氮气混合板(19)采用细密多孔设计。