[实用新型]一种用于硅片研磨的放片取片机构

权利要求书

1.一种用于硅片研磨的放片取片机构，包括支撑柱(6)，其特征在于，所述支撑柱(6)的顶部固定安装有研磨机，且研磨机包括第一游星轮(1)、第二游星轮(2)和多个第三游星轮(3)，多个第三游星轮(3)均通过齿轮分别与第一游星轮(1)和第二游星轮(2)转动连接，且第三游星轮(3)的顶部开设有多个放置槽(4)，所述放置槽(4)内放置有硅片本体(5)，且支撑柱(6)的两侧均焊接有固定板(7)，所述固定板(7)的顶部延伸至第二游星轮(2)的上方，且两个固定板(7)的顶部焊接有同一个顶板(8)，所述顶板(8)的底部中央位置固定安装有液压泵(9)，且液压泵(9)的输出轴上焊接有多个连接柱(10)，所述连接柱(10)的底端设有机械爪(11)，且连接柱(10)的底端开设有安装槽(12)，所述安装槽(12)内安装有推杆电机(13)，且推杆电机(13)的输出轴上固定安装有吸盘(14)，所述吸盘(14)与硅片本体(5)相配合。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的放片取片机构，其特征在于，所述液压泵(9)与推杆电机(13)相配合。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的放片取片机构，其特征在于，所述第三游星轮(3)的数量为四到六个，且四到六个第三游星轮(3)呈环形排布。

4.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的放片取片机构，其特征在于，位于同一个第三游星轮(3)上的放置槽(4)的数量为六到八个，且六到八个放置槽(4)呈环形排布，所述放置槽(4)的数量与吸盘(14)的数量相等。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的放片取片机构，其特征在于，所述推杆电机(13)的顶部焊接有安装板，且安装板的底部四角均开设有螺栓孔，所述螺栓孔内螺纹连接有螺栓，且推杆电机(13)通过安装板上的螺栓孔和螺栓固定安装于安装槽(12)的顶部内壁上。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的放片取片机构，其特征在于，所述机械爪(11)包括三到五个抓把，且三到五个抓把与硅片本体(5)相配合。

7.根据权利要求1所述的一种用于硅片研磨的放片取片机构，其特征在于，所述硅片本体(5)与相对应的放置槽(4)的内壁滑动连接。