[实用新型]一种用于硅片研磨的放片取片机构有效
申请号: | 201721270225.4 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN207458908U | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 范桂林;李茂欣 | 申请(专利权)人: | 上海磐盟电子材料有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/683;H01L21/673 |
代理公司: | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人: | 刘君 |
地址: | 201611 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 游星轮 硅片本体 放置槽 固定板 支撑柱 本实用新型 硅片研磨 取片机构 研磨机 焊接 底部中央位置 吸盘 安装方便 工作效率 经济实用 转动连接 研磨 机械爪 液压泵 齿轮 取放 延伸 | ||
本实用新型公开了一种用于硅片研磨的放片取片机构,包括支撑柱,所述支撑柱的顶部固定安装有研磨机,且研磨机包括第一游星轮、第二游星轮和多个第三游星轮,多个第三游星轮均通过齿轮分别与第一游星轮和第二游星轮转动连接,且第三游星轮的顶部开设有多个放置槽,所述放置槽内放置有硅片本体,且支撑柱的两侧均焊接有固定板,所述固定板的顶部延伸至第二游星轮的上方,且两个固定板的顶部焊接有同一个顶板,所述顶板的底部中央位置固定安装有液压泵。本实用新型结构简单,安装方便,经济实用,通过第三游星轮和放置槽,方便硅片本体的研磨,同时通过机械爪和吸盘,方便取放硅片本体,有效的提高了工作效率。
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域,尤其涉及一种用于硅片研磨的放片取片机构。
背景技术
硅片线切后,表面损伤层较大,需进行双面研磨去除损伤层,用磨粉和悬浮液配置成磨料,再将硅片放在游星轮中在磨片机上研磨,但是现在取放硅片的时候都是通过人工用吸盘来完成的,费时费力,且工作效率低,因此我们提出了一种用于硅片研磨的放片取片机构用于解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种用于硅片研磨的放片取片机构。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种用于硅片研磨的放片取片机构,包括支撑柱,所述支撑柱的顶部固定安装有研磨机,且研磨机包括第一游星轮、第二游星轮和多个第三游星轮,多个第三游星轮均通过齿轮分别与第一游星轮和第二游星轮转动连接,且第三游星轮的顶部开设有多个放置槽,所述放置槽内放置有硅片本体,且支撑柱的两侧均焊接有固定板,所述固定板的顶部延伸至第二游星轮的上方,且两个固定板的顶部焊接有同一个顶板,所述顶板的底部中央位置固定安装有液压泵,且液压泵的输出轴上焊接有多个连接柱,所述连接柱的底端设有机械爪,且连接柱的底端开设有安装槽,所述安装槽内安装有推杆电机,且推杆电机的输出轴上固定安装有吸盘,所述吸盘与硅片本体相配合。
优选的,所述液压泵与推杆电机相配合。
优选的,所述第三游星轮的数量为四到六个,且四到六个第三游星轮呈环形排布。
优选的,位于同一个第三游星轮上的放置槽的数量为六到八个,且六到八个放置槽呈环形排布,所述放置槽的数量与吸盘的数量相等。
优选的,所述推杆电机的顶部焊接有安装板,且安装板的底部四角均开设有螺栓孔,所述螺栓孔内螺纹连接有螺栓,且推杆电机通过安装板上的螺栓孔和螺栓固定安装于安装槽的顶部内壁上。
优选的,所述机械爪包括三到五个抓把,且三到五个抓把与硅片本体相配合。
优选的,所述硅片本体与相对应的放置槽的内壁滑动连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:通过第一游星轮、第二游星轮、第三游星轮、放置槽和硅片本体相配合,方便硅片本体的研磨,通过支撑柱、固定板、顶板、液压泵、连接柱、机械爪、安装槽、推杆电机和吸盘相配合,方便取放硅片本体,有效的提高了工作效率。
本实用新型结构简单,安装方便,经济实用,通过第三游星轮和放置槽,方便硅片本体的研磨,同时通过机械爪和吸盘,方便取放硅片本体,有效的提高了工作效率。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于硅片研磨的放片取片机构的主视结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种用于硅片研磨的放片取片机构的俯视结构示意图;
图3为本实用新型提出的一种用于硅片研磨的放片取片机构的液压泵局部结构示意图;
图4为本实用新型提出的一种用于硅片研磨的放片取片机构的A部分的结构示意图。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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