[实用新型]一种漏斗型Pocket结构的载板有效
申请号: | 201721271086.7 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN207199570U | 公开(公告)日: | 2018-04-06 |
发明(设计)人: | 李高峰;詹国彬 | 申请(专利权)人: | 上海东洋炭素有限公司 |
主分类号: | H01L21/205 | 分类号: | H01L21/205;C23C16/54 |
代理公司: | 北京创遇知识产权代理有限公司11577 | 代理人: | 李芙蓉,冯建基 |
地址: | 201611 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 漏斗 pocket 结构 | ||
1.一种漏斗型Pocket结构的载板,包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片(2)的载板(1),其特征在于,载板(1)上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket(3),每个Pocket(3)中分别设置有平滑曲面台阶,Pocket(3)包括直线部分(301)和曲面部分(302),Pocket(3)的截面为漏斗状,Pocket(3)内用于放置电池片(2),电池片(2)和载板(1)构成线接触结构。
2.如权利要求1所述的漏斗型Pocket结构的载板,其特征在于,Pocket(3)的外框尺寸根据电池片的尺寸设置。
3.如权利要求2所述的漏斗型Pocket结构的载板,其特征在于,Pocket(3)的外框尺寸为158×158mm-162×162mm。
4.如权利要求2所述的漏斗型Pocket结构的载板,其特征在于,Pocket(3)的内框尺寸根据实验确认没有绕镀现象的尺寸设置。
5.如权利要求4所述的漏斗型Pocket结构的载板,其特征在于,Pocket(3)的内框尺寸为146×146mm-158×158mm。
6.如权利要求4所述的漏斗型Pocket结构的载板,其特征在于,Pocket(3)的直线部分(301)的深度尺寸通过实验评估镀膜效果后设置。
7.如权利要求6所述的漏斗型Pocket结构的载板,其特征在于,Pocket(3)的直线部分(301)的深度尺寸为0.6-1.3mm。
8.如权利要求6所述的漏斗型Pocket结构的载板,其特征在于,Pocket(3)的曲面部分(302)通过模拟自动化放片,同时参考镀膜效果后设置。
9.如权利要求8所述的漏斗型Pocket结构的载板,其特征在于,Pocket(3)的曲面部分(302)的高度差为0.8-2.5mm。
10.如权利要求9所述的漏斗型Pocket结构的载板,其特征在于,Pocket(3)的曲面部分(302)的曲面半径为80-200mm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造