[实用新型]一种漏斗型Pocket结构的载板有效
| 申请号： | 201721271086.7 | 申请日： | 2017-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN207199570U | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 李高峰;詹国彬 | 申请（专利权）人： | 上海东洋炭素有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/205 | 分类号： | H01L21/205;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京创遇知识产权代理有限公司11577 | 代理人： | 李芙蓉,冯建基 |
| 地址： | 201611 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 漏斗 pocket 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强型化学气相沉积法)板式炉碳纤维载板技术领域，特别是涉及一种漏斗型Pocket(口袋)结构的载板。
背景技术
目前，碳纤维载板是一种在PECVD板式炉内对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片，表面采用等离子体增强型化学气相沉积法进行镀膜的承载工具。
现有的典型的高效电池需要镀双面膜，即电池片的正面和反面均要进行一次镀膜工艺，这对承载电池片镀膜的载板提出了更高的要求，因为传统的承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，这些不良严重影响了电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加了电池片的生产成本，对企业的发展有不利的影响。
公开号为CN103602960A，名称为“板式PECVD镀膜载板”的中国发明专利文献公开了一种板式PECVD镀膜载板，其载板基体与挂钩间固定过渡平台，本发明通过在挂钩处的硅片与载板基体之间设置了一个平台，其虽然能够改变硅片边缘的色差问题，但是其却存在承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，导致严重影响电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加电池片生产成本的问题。
公开号为CN104465465A，名称为“一种用于板式PECVD的石墨载板”的中国发明专利文献公开了一种用于板式PECVD的石墨载板，其上设有多格硅片承载区，每格硅片承载区为156mm×156mm的结构，每格硅片承载区的两个竖边上各设有2个钩针、两个横边上各设有2个档针，钩针、档针分别沿各边中点对称设置，每条边上的两个钩针/档针之间的距离为75～98mm。其虽然能够实现多种规格硅片的承载，但是其同样存在承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，导致严重影响电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加电池片生产成本的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种漏斗型Pocket结构的载板，用以解决现有技术所存在的承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，导致严重影响电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加电池片生产成本的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供一种漏斗型Pocket结构的载板，包括用于在PECVD工艺板式炉内进行承载电池片的载板，载板上设置有至少两行和两列的均匀分布的Pocket，每个Pocket中分别设置有平滑曲面台阶，Pocket包括直线部分和曲面部分，Pocket的截面为漏斗状，Pocket内用于放置电池片，电池片和载板构成线接触结构。
可选地，Pocket的外框尺寸根据电池片的尺寸设置。
可选地，Pocket的外框尺寸为158×158mm-162×162mm。
可选地，Pocket的内框尺寸根据实验确认没有绕镀现象的尺寸设置。
可选地，Pocket的内框尺寸为146×146mm-158×158mm。
可选地，Pocket的直线部分的深度尺寸通过实验评估镀膜效果后设置。
可选地，Pocket的直线部分的深度尺寸为0.6-1.3mm。
可选地，Pocket的曲面部分通过模拟自动化放片，同时参考镀膜效果后设置。
可选地，Pocket的曲面部分的高度差为0.8-2.5mm。
可选地，Pocket的曲面部分的曲面半径为80-200mm。
本实用新型具有如下优点：
本实用新型的漏斗型Pocket结构的载板，能够解决现有技术所存在的承载方式表面和载板的接触面积较大，进行镀膜工艺时会对电池片的表面产生污染和划伤，导致严重影响电池转换效率的提升和电池良率的提高，增加电池片生产成本的问题，其在保证消除了镀膜电池片表面EL黑点的基础上，解决载板在自动化放片和取片过程中，很容易将电池片放倾斜、掉片，在传输过程中导致电池片飞出Pocket等问题，减少电池片与载板的直接接触面积，同时解决了由于接触面积减少，带来的自动化放片不稳定，使电池片在Pocket内放不正导致的镀膜均匀性受到影响的问题，其最终改善了电池片镀膜均匀性，提高了电池片的转换效率和良率。
附图说明
图1为本实用新型的漏斗型Pocket结构的载板的整体示意图；
图2为本实用新型的漏斗型Pocket结构的Pocket结构整体示意图；
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
