[实用新型]一种组装纳米小球的设备

权利要求书

1.一种组装纳米小球的设备，其特征在于，包括依次设置的放卷系统、拉膜浸镀槽、加热蒸发板、等离子刻蚀机、收卷系统和沿着输送方向设置的若干传动辊。

2.根据权利要求1所述的组装纳米小球的设备，其特征在于，还包括清洗系统，所述清洗系统设置于放卷系统与拉膜浸镀槽之间。

3.根据权利要求2所述的组装纳米小球的设备，其特征在于，所述清洗系统包括依次设置的超声清洗装置、干燥装置和等离子体清洗装置。

4.根据权利要求3所述的组装纳米小球的设备，其特征在于，所述干燥装置为风刀或风干机。

5.根据权利要求1-4任一项所述的组装纳米小球的设备，其特征在于，所述收卷系统上设置有纠正装置和磁粉张力控制系统，所述纠正装置上设置有光电传感器，用以跟踪柔性衬底并将信号反馈给收卷系统使收卷整齐，所述磁粉张力控制系统上设置有张力传感器，用以测量所述柔性衬底的张力大小并根据反馈的张力信号调节所述柔性衬底的张力和输送速度。

6.根据权利要求1-4任一项所述的组装纳米小球的设备，其特征在于，所述加热蒸发板的面板材料为不锈钢。