[实用新型]一种组装纳米小球的设备有效
申请号: | 201721291784.3 | 申请日: | 2017-10-09 |
公开(公告)号: | CN207352983U | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 周国富;辇理;容齐坤 | 申请(专利权)人: | 深圳市国华光电研究院;深圳市国华光电科技有限公司;华南师范大学 |
主分类号: | H01B5/14 | 分类号: | H01B5/14;H01B13/00;B82Y30/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 唐致明 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华新区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 组装 纳米 小球 设备 | ||
本实用新型公开了一种组装纳米小球的设备,包括依次设置的放卷系统、拉膜浸镀槽、加热蒸发板、等离子刻蚀机、收卷系统和沿着输送方向设置的若干传动辊,通过控制传动辊的传动速度来调控纳米小球在柔性衬底上组装的均匀性,利用等离子刻蚀机控制所述柔性衬底上组装的纳米小球的密度,同时能够实现大面积和连续化生产,生产效率高。
技术领域
本实用新型涉及金属网状导电膜领域,尤其涉及一种组装纳米小球的设备。
背景技术
透明导电膜在平板显示、光伏电池等领域发挥着重要作用,是不可缺少的光电功能元器件。作为当前市场的主导透明导电膜材料,氧化铟锡(ITO)已经遭遇到了铟资源枯竭、材料成本及真空磁控溅射耗能昂贵的严峻挑战,另一方面,当前的元器件正由传统的硬质芯片向柔性可穿戴方式过渡,这方面的市场正在爆发式增长。柔性的金属网状透明导电膜因其透射率高、电阻低、柔性好等优异的光电性能,突破了传统ITO等导电玻璃在可挠、透明、可弯折、重量等方面的局限性,能够替代ITO,节约了生产成本。制备柔性的金属网状透明导电膜的过程中通常需要在柔性的衬底上首先组装聚苯乙烯或二氧化硅纳米小球,然后再在上面覆盖一层金属层,后续通过去除纳米小球的方式形成金属网状的透明导电膜。在制备的过程中纳米小球组装的均匀性和密度均会影响后续形成的金属网的网格的质量从而影响导电膜的性能,另外现有的制备工艺中往往不能实现大面积和连续化生产,因此需要提供一种能够实现大面积和连续化生产、生产效率高、纳米小球组装均匀性好的组装纳米小球设备。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种组装纳米小球的设备,可以控制在柔性衬底上组装的纳米小球的均匀性和密度,生产效率高,能够实现大面积和连续化生产。
本实用新型所采取的技术方案是:
本实用新型提供一种组装纳米小球的设备,包括依次设置的放卷系统、清洗系统、拉膜浸镀槽、加热蒸发板、等离子刻蚀机、收卷系统和沿着输送方向设置的若干传动辊。所述放卷系统用以连续输送柔性衬底,所述拉膜浸镀槽用以在所述柔性衬底上组装纳米小球,所述加热板用以去除所述纳米小球表面的溶剂,所述等离子体刻蚀机用以刻蚀以拉开所述纳米小球之间的间距,所述收卷系统用以收卷组装纳米小球后的柔性衬底。
优选地,还包括清洗系统,所述清洗系统设置于放卷系统与拉膜浸镀槽之间。所述清洗系统用以清洗所述柔性衬底。
进一步地,所述清洗系统包括依次设置的超声清洗装置、干燥装置和等离子体清洗装置,所述等离子清洗装置用以清洁和活化所述柔性衬底。
更进一步地,所述干燥装置为风刀或风干机。
优选地,所述收卷系统上设置有纠正装置和磁粉张力控制系统,所述纠正装置上设置有光电传感器,用以跟踪所述柔性衬底并将信号反馈给收卷系统使收卷整齐,所述磁粉张力控制系统上设置有张力传感器,用以测量所述柔性衬底的张力大小并根据反馈的张力信号调节所述柔性衬底的张力和输送速度。
优选地,所述加热蒸发板的面板材料为不锈钢。
本实用新型的有益效果是:
本实用新型提供一种组装纳米小球的设备,包括依次设置的放卷系统、拉膜浸镀槽、加热蒸发板、等离子刻蚀机、收卷系统和沿着输送方向设置的若干传动辊,通过控制传动辊的传动速度来调控纳米小球在柔性衬底上组装的均匀性,控制等离子刻蚀机的功率控制所述柔性衬底上组装的纳米小球的密度,同时能够实现大面积和连续化生产,生产效率高。
附图说明
图1为自组装纳米小球的设备的结构示意图。
具体实施方式
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