[实用新型]一种轴承工作状态的检测装置有效
| 申请号： | 201721299268.5 | 申请日： | 2017-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN207300580U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 朱小凡 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01M13/04 | 分类号： | G01M13/04 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 轴承 工作 状态 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种轴承工作状态的检测装置，适用于检测设置于半导体设备内部的轴承的工作状态，所述轴承固定于一基座内，其特征在于，沿所述轴承的轴向于所述基座上设置一通孔；
所述检测装置包括：
标识，对应于所述通孔设置于所述轴承的外圈上；
感应开关，形状与所述通孔适配并设置于所述通孔内，所述感应开关的探头朝向所述标识设置；
发光二极管，连接所述感应开关的输出端。
2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述标识为凹槽。
3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述感应开关为电容式接近开关。
4.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述通孔的横截面为圆形。
5.如权利要求1所述的检测装置，基特征在于，圆形的所述通孔的直径为2mm。
6.如权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述凹槽的深度为1mm。
7.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述感应开关的探头的直径为1.5mm。
8.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，还包括电源，所述电源、感应开关、发光二极管构成一串联回路。
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