[实用新型]一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统

权利要求书

1.一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统，包括自动灌装柜(1)、成品储罐自控系统(5)、管路抽空处理装置和PLC控制系统；自动灌装柜内有灌装钢瓶(2)，灌装钢瓶出口管道上有钢瓶灌装阀n、灌装管路压力传感器(12)，之后连接于灌装总阀1上，灌装总阀1与灌装管路总气动阀k相连通；管路抽空处理装置包括高纯氦气瓶(13)、真空泵组(14)、管道及阀门，用于抽空和吹扫灌装管路；成品储罐自控系统(5)包括成品储罐(6)、气液分离调节阀b、汽化器(10)、物料抽空回放装置(11)和PLC控制系统，成品储罐内有冷却盘管，上有进口阀，还安装有液位显示装置(8)和成品储罐压力传感器(9)，成品储罐(6)、气液分离调节阀b、汽化器(10)和物料抽空回放装置(11)通过管道和阀门形成成品储罐下出上进回路，汽化器(10)下游接有单向阀控制物料流向。

2.根据权利要求1所述的自动灌装系统，其特征是所述物料抽空回放装置(11)为封闭型螺杆真空泵或涡流真空泵。

3.根据权利要求1所述的自动灌装系统，其特征是灌装钢瓶置于电子称上；灌装钢瓶外包裹有冰毯，成品储罐内部设置有冷却盘管。

4.根据权利要求1所述的自动灌装系统，其特征是所述的真空泵组由两级组成，前级为罗茨泵或螺杆泵，后级为分子泵，真空度能够达到10-8Pa。

5.根据权利要求1所述的自动灌装系统，其特征是成品储罐罐体的高径比为1∶1～4∶1。

6.根据权利要求1所述的自动灌装系统，其特征是该系统所有管路、阀门、罐体及部件材质为镍、蒙乃尔或不锈钢耐腐蚀材质，表面洁净度为EP级；真空泵进出口均为KF接头。

7.根据权利要求1所述的自动灌装系统，其特征是所述灌装钢瓶(2)内部保有合格六氟化钨底气，底气压力为50KPa～70Kpa。

8.根据权利要求1所述的自动灌装系统，其特征是所述自动灌装柜(1)能够同时灌装一个或多个灌装钢瓶(2)，灌装多个钢瓶时，多个钢瓶并列连接于灌装总阀1上。