[实用新型]一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统有效

专利信息
申请号: 201721304343.2 申请日: 2017-09-26
公开(公告)号: CN207349787U 公开(公告)日: 2018-05-11
发明(设计)人: 李立远;黄晓磊;张金彪;李金勇;许福胜;李贤武;吴旭飞 申请(专利权)人: 黎明化工研究设计院有限责任公司
主分类号: F17C5/02 分类号: F17C5/02;F17C13/00;F17C13/04;F17C13/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 471000 河*** 国省代码: 河南;41
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 用于 高纯 氟化 生产 自动 灌装 系统
【说明书】:

实用新型公开了一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统,包括自动灌装柜、成品储罐自控系统、管路抽空处理装置和PLC控制系统;自动灌装柜内有灌装钢瓶,灌装钢瓶出口管道上有钢瓶灌装阀、灌装管路压力传感器,之后连接于灌装总阀上,灌装总阀与灌装管路总气动阀相连通;管路抽空处理装置包括高纯氦气瓶、真空泵组、管道及阀门;成品储罐自控系统包括成品储罐、气液分离调节阀、汽化器、物料抽空回放装置和PLC控制系统,成品储罐、气液分离调节阀、汽化器和物料抽空回放装置通过管道和阀门形成成品储罐下出上进回路,汽化器下游接有单向阀控制物料流向。该系统能够实现自动维持成品储罐压力平衡,灌装过程物料无损耗。

技术领域

本实用新型涉及六氟化钨制备领域,特别涉及成品灌装设备。

背景技术

六氟化钨(WF6)是一种电子工业用气体,主要在电子工业中用作金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料。用WF6制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI)中的配线材料。随着电子工业产品精密化程度的提高,也对作为原材料的WF6的纯度提出了极高的要求,当要求纯度达到99.999%以上时,WF6的精制和成品灌装都会出现极大的困难。

高纯WF6中的主要杂质指标为氧、氮、HF等轻组分和金属杂质等重组分。金属杂质一经去除后不易再引入,但若成品灌装系统设计不完善,会导致成品灌装系统中残存水分、氧、氮等杂质和少量WF6,而WF6又极易与水反应生成HF,这样高纯WF6灌装至钢瓶的过程中就极易引入HF和氧、氮等轻组分杂质,导致灌装品不合格。

WF6具有气液固三相极易转换的特性,且常温下为液态,不同于其他高纯气体常态下多为高压气态可以通过压力差进行各单元间操作,WF6工业生产中的传动力主要依靠各级储罐的加热和冷冻操作,能耗较大且有一定的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统。该系统无需高纯气源补气管路就能够实现自动调节成品储罐压力维持成品储罐压力自平衡,降低量耗的同时,还能保证成品储罐物料状态的稳定均一。灌装完成后,灌装管路中的物料抽空回放至成品储罐中,实现灌装过程物料无损耗。

为解决现有技术问题,本实用新型的技术方案是:一种用于高纯六氟化钨生产的自动灌装系统,包括自动灌装柜1、成品储罐自控系统5、管路抽空处理装置和PLC控制系统;自动灌装柜内有灌装钢瓶2,灌装钢瓶出口管道上有钢瓶灌装阀n、灌装管路压力传感器12,之后连接于灌装总阀l上,灌装总阀l与灌装管路总气动阀k相连通;管路抽空处理装置包括高纯氦气瓶13、真空泵组14、管道及阀门,用于抽空和吹扫灌装管路;成品储罐自控系统5包括成品储罐6、气液分离调节阀b、汽化器10、物料抽空回放装置11和PLC控制系统,成品储罐内有冷却盘管,上有进口阀,还安装有液位显示装置8和成品储罐压力传感器9,成品储罐6、气液分离调节阀b、物料抽空回放装置11和汽化器10通过管道和阀门形成成品储罐下出上进回路,汽化器10下游接有单向阀控制物料流向。

成品储罐内部设置冷却盘管是保证物料收储过程中气态物料的液化,另一作用是在成品储罐压力过大时,启动冷却装置防止罐压失控,产生物料泄漏。储罐正常使用时为冷却盘管处于关闭状态。成品储罐罐体的高径比优选为1∶1~4∶1。

优选地,所述物料抽空回收装置11为封闭型螺杆真空泵或涡流真空泵,真空泵进出口均为KF接头,接入物料抽空回收管路中,系统密闭性优异。真空度能够达到10-2Pa。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黎明化工研究设计院有限责任公司,未经黎明化工研究设计院有限责任公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721304343.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top