[实用新型]一种碳化硅芯片的合格率检测设备

权利要求书

1.一种碳化硅芯片的合格率检测设备，包括底座(2)、芯片扫描检测设备(4)、检测安装板(9)、放料传送带(13)和芯片卡槽(18)，其特征在于：所述底座(2)的顶部安装有伺服电机(3)，且伺服电机(3)的顶部通过联轴器安装有主动轮(14)，所述服电机(3)一侧的底座(2)上通过支撑柱(16)安装有从动轮(15)，且主动轮(14)与从动轮(15)上安装有放料传送带(13)，所述放料传送带(13)的上均匀分布有芯片卡槽(18)，所述放料传送带(13)下方的底座(2)上通过电动升降柱(1)安装有透明支撑板(12)，且透明支撑板(12)紧贴放料传送带(13)的下表面，所述伺服电机(3)与支撑柱(16)之间的底座(2)上安装有芯片扫描检测设备(4)，且芯片扫描检测设备(4)的顶部安装有检测板(6)，所述芯片扫描检测设备(4)一侧的底座(2)上安装有电动伸缩柱(11)，且电动伸缩柱(11)的顶部安装有检测安装板(9)，所述检测安装板(9)的顶部安装有探针固定板(7)，所述探针固定板(7)的内部安装有FM1702SL高频读写板(8)，且FM1702SL高频读写板(8)的输出端均匀安装有贯穿探针固定板(7)的检测探针(10)。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅芯片的合格率检测设备，其特征在于：所述检测板(6)上表面的中央位置处安装有红外线定位灯。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅芯片的合格率检测设备，其特征在于：所述芯片扫描检测设备(4)的正面安装有检测指标显示器(5)。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅芯片的合格率检测设备，其特征在于：所述透明支撑板(12)上均匀分布有与芯片卡槽(18)配合使用的支撑凸起(17)。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅芯片的合格率检测设备，其特征在于：所述主动轮(14)与从动轮(15)位于同一水平面，且主动轮(14)与从动轮(15)的直径相同。