[实用新型]薄膜干燥监测装置有效
| 申请号： | 201721318220.4 | 申请日： | 2017-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN207199574U | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 胡佳;陈颖 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;H01L51/50 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 林青中 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 干燥 监测 装置 | ||
1.一种薄膜干燥监测装置，其特征在于，包括：
平行光源机构，用于向薄膜的表面发射平行光线；
光强检测机构，用于检测所述平行光线经所述薄膜反射后的镜面反射光线的光通量；以及
分析处理机构，与所述光强检测机构连接，用于在所述光通量的变化趋于平缓时发出干燥完成信号。
2.根据权利要求1所述的薄膜干燥监测装置，其特征在于，所述光通量的变化趋于平缓时是指所述光通量在单位时间内的减小量小于预设值时。
3.根据权利要求1所述的薄膜干燥监测装置，其特征在于，所述光强检测机构包括光传感器和第一狭缝光栅，所述第一狭缝光栅设于所述光传感器靠近所述薄膜的一侧，以使所述镜面反射光线经过所述第一狭缝光栅到达所述光传感器。
4.根据权利要求3所述的薄膜干燥监测装置，其特征在于，所述光强检测机构还包括第二狭缝光栅，所述第二狭缝光栅设于所述第一狭缝光栅靠近所述薄膜的一侧，以使所述镜面反射光线依次经过所述第二狭缝光栅和所述第一狭缝光栅到达所述光传感器。
5.根据权利要求4所述的薄膜干燥监测装置，其特征在于，所述光强检测机构还包括第一收容盒，所述光传感器、所述第一狭缝光栅和所述第二狭缝光栅收容于所述第一收容盒内。
6.根据权利要求1所述的薄膜干燥监测装置，其特征在于，所述平行光线与所述薄膜的表面的夹角为30°～60°。
7.根据权利要求1～6任一项所述的薄膜干燥监测装置，其特征在于，所述平行光源机构包括光源件和准直镜，所述准直镜设于所述光源件靠近所述薄膜的一侧。
8.根据权利要求7所述的薄膜干燥监测装置，其特征在于，所述平行光源机构还包括第二收容盒，所述光源件和所述准直镜收容于所述第二收容盒内。
9.根据权利要求7所述的薄膜干燥监测装置，其特征在于，所述光源件为可见光源。
10.根据权利要求9所述的薄膜干燥监测装置，其特征在于，所述光源件为红色或黄色的可见光源。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
