[实用新型]一种硅片自动下料系统有效
申请号: | 201721329858.8 | 申请日: | 2017-10-16 |
公开(公告)号: | CN207233717U | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 朱雷 | 申请(专利权)人: | 四川英发太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 | 代理人: | 唐邦英 |
地址: | 610000 四川省成都市中国(四川)自*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 自动 系统 | ||
1.一种硅片自动下料系统,包括第一传送机构(1)、升降装置和第二传送机构(4),所述升降装置包括固定机构(3),所述固定机构(3)的底部设置有升降机构(5),所述第一传送机构(1)用于传送硅片承载盒(2),所述第一传送机构(1)与固定机构(3)的底部在同一水平面,所述固定机构(3)设置在第一传送机构(1)的后端,所述第二传送机构(4)用于传送硅片(7),所述第二传送机构(4)的下端设置有水平气缸(6),所述固定机构(3)设置在第二传送机构(4)的后端,所述固定机构(3)设置在第二传送机构(4)、第一传送机构(1)之间,其特征在于,所述固定机构(3)包括立板(31),所述立板(31)的上端和下端均设置有支撑板(32),所述固定机构(3)的上端在支撑板(32)下方还设置有压紧板(33),所述压紧板(33)的两端设置有L形卡板(34),所述L形卡板(34)由气缸控制左右移动,所述压紧板(33)由垂直气缸(35)控制上下移动。
2.根据权利要求1所述的一种硅片自动下料系统,其特征在于,所述硅片承载盒(2)包括2个对称设置的水平底座(21),2个水平底座(21)之间设置有4个支撑杆(22),所述硅片承载盒(2)还包括2个对称设置的竖直卡板(23),所述竖直卡板(23)设置在支撑杆(22)内侧,所述竖直卡板(23)的内侧设置有硅片放置板(24),2个竖直卡板(23)上的硅片放置板(24)一一对应设置,2个L形卡板(34)用于夹紧设置在上方的水平底座(21)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片自动下料系统,其特征在于,设置在下端的支撑板(32)的端部设置有挡板(38)。
4.根据权利要求1所述的一种硅片自动下料系统,其特征在于,所述立板(31)的下端在靠近第二传送机构(4)的一端设置有第一限位板(37)。
5.根据权利要求1所述的一种硅片自动下料系统,其特征在于,所述立板(31)的上端在靠近第二传送机构(4)的一端设置有第二限位板(36)。
6.根据权利要求5所述的一种硅片自动下料系统,其特征在于,所述第二限位板(36)为U形结构,所述U形结构的开口端远离第二传送机构(4)。
7.根据权利要求1所述的一种硅片自动下料系统,其特征在于,所述第一传送机构(1)的两侧设置有限位板(11)。
8.根据权利要求1所述的一种硅片自动下料系统,其特征在于,设置在下端的支撑板(32)上设置有与第一传送机构(1)配合的传送机构。
9.根据权利要求1所述的一种硅片自动下料系统,其特征在于,所述第一传送机构(1)和第二传送机构(4)均为皮带传动。
10.根据权利要求1所述的一种硅片自动下料系统,其特征在于,设置在下端的支撑板(32)的上端面为螺纹面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造