[实用新型]真空镀膜设备有效
| 申请号： | 201721331755.5 | 申请日： | 2017-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN207243986U | 公开（公告）日： | 2018-04-17 |
| 发明（设计）人： | 杨斌 | 申请（专利权）人： | 君泰创新（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京维澳专利代理有限公司11252 | 代理人： | 周放,姜溯洲 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 设备 | ||
1.一种真空镀膜设备，包括用于镀膜的工作腔，所述工作腔的顶部设置有开口，所述工作腔的内部用于容置基板，其特征在于，所述真空镀膜设备还包括：
顶盖，封堵所述开口；所述顶盖朝向所述工作腔内部的一侧设置有加热丝；
第一温度传感器，设置在所述工作腔的顶部；
第二温度传感器，设置在所述工作腔的底部。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一温度传感器和/或所述第二温度传感器为热电偶。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述顶盖与所述开口之间通过密封垫密封固定。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述工作腔包括加热腔、工艺腔和冷却腔。
5.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一温度传感器与所述工作腔的底部具有设定的距离。
6.根据权利要求1-5任一项所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第二温度传感器的数量是一个或多个。
7.根据权利要求1-5任一项所述的真空镀膜设备，其特征在于，还包括进片腔和出片腔。
8.根据权利要求1-5任一项所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述加热丝焊接在所述顶盖上。
9.根据权利要求1-5任一项所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第二温度传感器焊接在所述工作腔的底部；
或所述第一温度传感器缠绕固定在所述加热丝上。
10.根据权利要求1-5任一项所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述工作腔的底部设置有安装孔，所述第二温度传感器通过螺栓固定在所述安装孔中。
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