[实用新型]真空镀膜设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池的制造过程中的温度测试，尤其涉及一种真空镀膜设备。

背景技术

在薄膜太阳能电池的制备过程中，温度是重要的参数之一。薄膜电池的制造设备包括物理气相沉积PVD、铜铟镓硒蒸镀(CIGS设备)都为板式、多腔室工艺设备，在不同腔室、同腔室不同区域都有不同的工艺温度要求。

现有技术中的加热器对各区域进行加热后，加热器的温度由传感器传至控制进行腔室温度控制。现有技术中的传感器通过与加热器缠绕接触来实现测量，这种测量方法只能测量加热器表面的温度，无法获取电池基板所处的环境温度，因此导致温度测量的不准确。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种真空镀膜设备，以解决现有技术中的问题，提高电池基板的温度测试精准性。

本实用新型提供了一种真空镀膜设备，包括用于镀膜的工作腔，所述工作腔的顶部设置有开口，所述工作腔的内部用于容置基板，其中，所述真空镀膜设备还包括：

顶盖，封堵所述开口；所述顶盖朝向所述工作腔内部的一侧设置有加热丝；

第一温度传感器，设置在所述工作腔的顶部；

第二温度传感器，设置在所述工作腔的底部。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述第一温度传感器和/或所述第二温度传感器为热电偶。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述顶盖与所述开口之间通过密封垫密封固定。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述工作腔包括加热腔、工艺腔和冷却腔。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述第一温度传感器与所述工作腔的底部具有设定的距离。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述第二温度传感器的数量是一个或多个。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，还包括进片腔和出片腔。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述加热丝焊接在所述顶盖上。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述第二温度传感器焊接在所述工作腔的底部；

或所述第一温度传感器缠绕固定在所述加热丝上。

如上所述的真空镀膜设备，其中，优选的是，所述工作腔的底部设置有安装孔，所述第二温度传感器通过螺栓固定在所述安装孔中。

本实用新型提供的真空镀膜设备通过设置第一温度传感器感测加热丝的温度，通过设置第二温度传感器感测基板的环境温度。这样，如果工作腔的环境温度发生变化，可以通过第一温度传感器和第二温度传感器的反馈对环境温度进行修正，从而保证基板所处的温度恒定，不仅提高了测量温度的精准性，也提高了工艺质量。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的真空镀膜设备的工作腔结构示意图。

附图标记说明：

1-工作腔2-顶盖3-密封垫4-基板5-加热丝6-第一温度传感器7-第二温度传感器

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。

图1为本实用新型实施例提供的真空镀膜设备的工作腔结构示意图，本实用新型实施例提供了一种真空镀膜设备，包括工作腔1，该工作腔1的顶部设置有开口，工作腔1的内部用于容置基板4，基板4由工作腔1的一侧进入工作腔，从工作腔1的另一侧输出。本领域技术人员可以理解的是，工作腔1可以包括加热腔、工艺腔和冷却腔，均用于完成基板的镀膜工艺，优选地，该真空镀膜设备还包括进片腔和出片腔。该真空镀膜设备还包括顶盖2、第一温度传感器6和第二温度传感器7。第一温度传感器6和第二温度传感器7均可以采用热电偶，当然，也可以采用其他装置来实现温度的采集。