[实用新型]太阳能rena刻蚀机槽体改造结构有效
申请号: | 201721332721.8 | 申请日: | 2017-10-13 |
公开(公告)号: | CN207353278U | 公开(公告)日: | 2018-05-11 |
发明(设计)人: | 徐建;俞超;李慧;吴俊清;樊华;张子森 | 申请(专利权)人: | 东方环晟光伏(江苏)有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人: | 刘畅;徐冬涛 |
地址: | 214203 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能 rena 刻蚀 体改 结构 | ||
1.一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构,包括主槽(1)和储液罐(7),其特征是:在主槽(1)底部开有若干个孔(2);主槽(1)和副槽(3)的横截面相同,主槽(1)设置在副槽(3)之上;所述副槽(3)放置于外槽(4)中,在外槽(4)的底部设置有溢出孔(5),溢出孔(5)的开孔位置与副槽(3)的放置位置错开;溢出孔(5)通过细管(6)连接储液罐(7),储液罐(7)的输出端通过细管(6)连接泵(8),泵(8)的输出端通过细管(6)连接副槽(3)。
2.根据权利要求1所述的太阳能rena刻蚀机槽体改造结构,其特征是:所述主槽底部全部为孔(2),孔(2)的直径为3mm,相邻孔(2)圆心间距为4.5mm。
3.根据权利要求1所述的太阳能rena刻蚀机槽体改造结构,其特征是:所述溢出孔(5)的直径为7cm。
4.根据权利要求1所述的太阳能rena刻蚀机槽体改造结构,其特征是:所述泵(8)的功率为2.2KW。
5.根据权利要求1所述的太阳能rena刻蚀机槽体改造结构,其特征是:所述细管(6)的材质为PVDF,直径为6cm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的