[实用新型]太阳能rena刻蚀机槽体改造结构

说明书

本实用新型公开了一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构，包括主槽和储液罐，在主槽底部开有若干个孔；主槽和副槽的横截面相同，主槽设置在副槽之上；所述副槽放置于外槽中，在外槽的底部设置有溢出孔，溢出孔的开孔位置与副槽的放置位置错开；溢出孔通过细管连接储液罐，储液罐的输出端通过细管连接泵，泵的输出端通过细管连接副槽。本实用新型是改变槽体的结构，泵将储液罐抽至副槽，然后副槽满之后药液通过主槽槽底的多孔溢至主槽，主槽底的孔细小，药液进入主槽比较均匀，且泵从储液罐抽取的空气经过多孔逸出时，无法凝聚成大气泡，气泡基本在副槽里就基本破裂，避免了原横流管冒气泡破裂导致硅片的不良。

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能RENA刻蚀机通过槽体改造减少不良品的方法，属于太阳能刻蚀技术领域，具体是一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构。

背景技术

刻蚀槽：去除边缘的结，防止漏电，硅片采取“水上漂”进行背面腐蚀。

目前刻蚀机的刻蚀槽的使用药液(还有氢氟酸，硝酸，硫酸，水四种化学物质)，RENA刻蚀机通过泵从储液槽抽液至主槽的横流管，然后由横流管上的细孔(细孔是管子的朝下方，以防喷液至主槽时引起液面波动)均匀喷液至主槽，主槽多余的液会通过主槽边上的外槽流至储液槽，溶液进行均匀循环使用。但是泵在抽取储液槽溶液的时候会带入一部分空气进入横流管，由于空气聚集越来越多，气泡会从横流管的气孔里冒出来至液面处发生破碎，气泡破碎导致药液波动，引起翻液至硅片正面的上，腐蚀正面，加工至成品引起外观降级，给公司带来一定的经济损失。

实用新型内容

本实用新型针对背景技术中存在的问题，提出一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构。

技术方案：

一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构，包括主槽和储液罐，其特征是：在主槽底部开有若干个孔；主槽和副槽的横截面相同，主槽设置在副槽之上；所述副槽放置于外槽中，在外槽的底部设置有溢出孔，溢出孔的开孔位置与副槽的放置位置错开；溢出孔通过细管连接储液罐，储液罐的输出端通过细管连接泵，泵的输出端通过细管连接副槽。

优选的，所述主槽底部全部为孔，孔的直径为3mm，相邻孔圆心间距为4.5mm。

优选的，所述溢出孔的直径为7cm。

优选的，所述泵的功率为2.2KW。

优选的，所述细管的材质为PVDF，直径为6cm。

本实用新型的有益效果

本实用新型是改变槽体的结构，刻蚀主槽内取消横流管，将刻蚀主槽下加一层槽体(副槽)，且将主槽底部改为多个孔的结构，泵将储液罐抽至副槽，然后副槽满之后药液通过主槽槽底的多孔溢至主槽，主槽底的孔细小，药液进入主槽比较均匀，且泵从储液罐抽取的空气经过多孔逸出时，无法凝聚成大气泡，气泡基本在副槽里就基本破裂，避免了原横流管冒气泡破裂导致硅片的不良。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型作进一步说明，但本实用新型的保护范围不限于此：

实施例1：一种太阳能rena刻蚀机槽体改造结构，包括主槽1和储液罐7，在主槽1底部开有若干个孔2；主槽1和副槽3的横截面相同，主槽1设置在副槽3之上；所述副槽3放置于外槽4中，在外槽4的底部设置有溢出孔5，溢出孔5的开孔位置与副槽3的放置位置错开；溢出孔5通过细管6连接储液罐7，储液罐7的输出端通过细管6连接泵8，泵8的输出端通过细管6连接副槽3。

优选的实施例中：

所述主槽底部全部为孔2，孔2的直径为3mm，相邻孔2圆心间距为4.5mm。