[实用新型]一种可旋转的PECVD镀膜装置

权利要求书

1.一种可旋转的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述镀膜装置内部设有一矩形镀膜空腔，镀膜空腔的前端开口且开口铰接有一可打开的密封门，镀膜空腔的左右侧壁分别固定安装有正对设置的阳极电极板和阴极电极板，所述阳极电极板连接射频电源，所述阴极电极板接地，所述镀膜空腔上下壁之间设置有丝杆，所述丝杆的一端连接一驱动马达，所述丝杆上设置有相配的可上下移动的工件托盘，所述工件托盘包括一个可旋转的大盘和设置于大盘上多个可旋转的小盘。

2.根据权利要求1所述的可旋转的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述工件托盘的数量有多个，呈上下间隔的连接至丝杆。

3.根据权利要求2所述的可旋转的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述工件托盘包括底座，所述底座通过一推力轴承支撑起所述的大盘，所述大盘由一大盘电机及传动齿轮驱动发生旋转，所述大盘的上表面开设有多个小盘安装槽，所述多个小盘安装槽内通过多个推力轴承支撑起多个小盘，每个小盘由一个小盘电机驱动发生旋转。