[实用新型]真空吸附平台

权利要求书

1.一种真空吸附平台，其特征在于，包括真空吸附腔体和驱动装置；所述真空吸附腔体包括下腔体、伸缩罩以及吸附顶板；所述下腔体包括底板和侧框，所述下腔体上开有抽气口，所述底板设置在所述侧框的底部；所述伸缩罩的一端连接于所述侧框的顶部，所述伸缩罩的另一端安装所述吸附顶板，所述吸附顶板开设有吸附孔；所述驱动装置用于驱动所述吸附顶板上升或下降。

2.根据权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于，还包括高度控制系统和测距传感器，所述测距传感器用于测量所述吸附顶板与所述下腔体之间的距离值，所述测距传感器和所述驱动装置均与所述高度控制系统电连接。

3.根据权利要求2所述的真空吸附平台，其特征在于，所述测距传感器包括测距传感器发射器和测距传感器接收器，所述测距传感器发射器安装在所述下腔体上，所述测距传感器接收器安装在所述吸附顶板上。

4.根据权利要求3所述的真空吸附平台，其特征在于，所述侧框的顶部水平安装有转接板，所述转接板的中部设有开口，所述开口的形状与所述侧框的框口的形状一致，且所述开口小于所述侧框的框口，所述转接板的外侧部位与所述侧框连接，所述伸缩罩安装在所述转接板的内侧部位上。

5.根据权利要求4所述的真空吸附平台，其特征在于，所述测距传感器发射器安装在所述转接板的外侧部位。

6.根据权利要求1所述的真空吸附平台，其特征在于，所述底板和所述吸附顶板之间设有用于支撑所述吸附顶板的弹性支撑组件。

7.根据权利要求6所述的真空吸附平台，其特征在于，所述弹性支撑组件包括导向筒、导向柱和预压弹簧；所述导向筒安装在所述底板上，所述导向柱的一端可滑动地插设在所述导向筒内，所述导向柱的另一端与所述吸附顶板连接，所述预压弹簧套设在所述导向柱上。

8.根据权利要求1-7任一项所述的真空吸附平台，其特征在于，所述驱动装置为直线步进电机。

9.根据权利要求8所述的真空吸附平台，其特征在于，所述底板上安装有固定支座，所述直线步进电机安装在所述固定支座上。

10.根据权利要求1-7任一项所述的真空吸附平台，其特征在于，所述抽气口处连接有真空泵，所述真空泵用于抽吸所述真空吸附腔体内的空气。