[实用新型]一种真空腔室内风门的开关门装置

权利要求书

1.一种真空腔室内风门的开关门装置，其特征在于，包括动力机构、第一连接轴、链轮组件以及可拆卸地设于真空腔室外侧壁上的密封结构，所述动力机构和密封结构均位于真空腔室外部，所述链轮组件位于所述真空腔室内部，所述第一连接轴的第一端与所述动力机构的输出轴连接，所述第一连接轴的第二端依次穿过所述密封结构和真空腔室的外侧壁与所述链轮组件连接以向所述链轮组件传递转矩，所述链轮组件还与所述真空腔室的风门连接以带动风门开启和关闭。

2.根据权利要求1所述的开关门装置，其特征在于，所述密封结构包括套筒，所述套筒的一端与真空腔室的外侧壁可拆卸地无缝连接，所述第一连接轴的第二端依次穿过所述套筒的两端，所述第一连接轴与套筒之间设有密封圈。

3.根据权利要求2所述的开关门装置，其特征在于，所述第一连接轴位于所述套筒内的一段为中空的充水段，所述密封圈套接于所述充水段的外围，且所述密封圈为三道，且包括相对靠近真空腔室外侧壁的第一密封圈，以及相对远离所述真空腔室外侧壁的第二密封圈和第三密封圈，其中所述第二密封圈和第三密封圈之间的套筒内壁上分别开设有环形的进水槽和环形的回水槽，所述充水段分别开设有与所述进水槽相连通的进水孔以及与所述回水槽相连通的出水孔，所述套筒外壁上分别开设有所述进水槽的进水口和所述回水槽的出水口。

4.根据权利要求2或3所述的开关门装置，其特征在于，所述套筒的两端内壁上各设有一滚动轴承，所述第一连接轴的第二端依次穿过两个所述滚动轴承的内圈以使第一连接轴安装于两个所述滚动轴承上。

5.根据权利要求2所述的开关门装置，其特征在于，所述套筒开设有多个用于向所述第一连接轴外表注入润滑油的注油孔。

6.根据权利要求2所述的开关门装置，其特征在于，所述真空腔室外侧壁上设有炉体支撑座，所述套筒的一端通过所述炉体支撑座与真空腔室的外侧壁可拆卸地无缝连接。

7.根据权利要求6所述的开关门装置，其特征在于，所述炉体支撑座上可拆卸地设有法兰，所述套筒的一端通过所述法兰固定于所述炉体支撑座上。

8.根据权利要求1所述的开关门装置，其特征在于，所述动力机构为减速电机。

9.根据权利要求1所述的开关门装置，其特征在于，所述链轮组件包括第一链轮、第二链轮以及一端环绕所述第一链轮、另一端环绕所述第二链轮的链条，所述第一连接轴的第二端安装于所述第一链轮内以向所述链轮组件传递转矩，所述链条与所述风门的活动端连接以拉动风门进行开启和关闭。

10.根据权利要求1所述的开关门装置，其特征在于，还包括位于所述真空腔室外部的风门开关到位控制机构，所述风门开关到位控制机构包括：支架，感应轮，用于感知所述风门关到位的第一光电开关，用于感知所述风门开到位的第二光电开关，以及可编程逻辑控制器；

所述感应轮、第一光电开关和第二光电开关均设于所述支架上，所述感应轮套接于所述第一连接轴的外围且可随第一连接轴一起转动，所述感应轮位于所述第一光电开关和第二光电开关之间，且所述感应轮在所述风门关到位时接近所述第一光电开关，所述感应轮在所述风门开到位时接近所述第二光电开关，所述可编程逻辑控制器用于接收所述第一光电开关和第二光电开关的信号以使所述动力机构停止工作。