[实用新型]一种真空腔室内风门的开关门装置

说明书

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种真空腔室内风门的开关门装置。该开关门装置包括动力机构、第一连接轴、链轮组件以及可拆卸地设于真空腔室外侧壁上的密封结构，所述动力机构和密封结构均位于真空腔室外部，所述链轮组件位于所述真空腔室内部，所述第一连接轴的第一端与所述动力机构的输出轴连接，所述第一连接轴的第二端依次穿过密封结构和真空腔室的外侧壁与所述链轮组件连接以向所述链轮组件传递转矩，所述链轮组件还与真空腔室的风门连接以带动风门开启和关闭。本开关门装置结构简单、成本低廉、开关门方便快捷，有效解决了现有开关门装置密封结构拆装和维护不便的问题，而且不会影响和降低真空腔室的密封效果。

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种真空腔室内风门的开关门装置。

背景技术

真空腔室在对其内部的工作区内部设备进行冷却时，会在工作区的外壁(一般为反射屏)上开一风口，并在风口处设置一独立的风门将风口堵起来，以控制风口处的空气流通。真空腔室内的风门作为真空腔室内的门体，其控制着工作区内外两侧之间的的空气流通，因而，该风门的开关门结构及其拆装、维护，以及开关门结构对于真空腔室外侧壁密封性的影响，显得尤为重要。

近年来，国内外真空设备发展迅猛，风门的开关门结构多采用转动密封，在许多转动密封装置上，磁流体密封得到了广泛的应用。磁流体密封技术，即是将磁流体注入到永磁体、转轴及磁极所构成的磁回路中，在磁场力的作用下，在密封间隙内形成多个“O”型液体密封环，从而达到密封的目的。因磁流体密封的应用范围较广，从低速到高速，从低压到高压均适用，目前在工业设备中应用的较多。

磁流体密封技术对介质的种类，工作温度都有严格的要求。不适用的介质或过高的温度，都会导致磁流体液退磁，破坏其密封效果，造成设备密封不严。如磁流体长期不用，突然启动时也会导致真空设备内压力上升。因此，对于真空腔室内风门的开关门结构来说，这都是一些不稳定的因素。另外，因其结构的复杂性，其制造的费用相对较高，对于一些低转速，应用频率较低的风门开关门结构来说，此种密封装置使用起来并不是很经济。并且，因磁流体是连接真空腔室内外的密封装置，其连接装置有一部分是在真空腔室内部，拆装和维修起来不是很方便。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是解决现有真空腔室内风门的开关门装置中密封结构拆装和维护不便的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种真空腔室内风门的开关门装置，其包括动力机构、第一连接轴、链轮组件以及可拆卸地设于真空腔室外侧壁上的密封结构，所述动力机构和密封结构均位于真空腔室外部，所述链轮组件位于所述真空腔室内部，所述第一连接轴的第一端与所述动力机构的输出轴连接，所述第一连接轴的第二端依次穿过所述密封结构和真空腔室的外侧壁与所述链轮组件连接以向所述链轮组件传递转矩，所述链轮组件还与所述真空腔室的风门连接以带动风门开启和关闭。

进一步地，所述密封结构包括套筒，所述套筒的一端与真空腔室的外侧壁可拆卸地无缝连接，所述第一连接轴的第二端依次穿过所述套筒的两端，所述第一连接轴与套筒之间设有密封圈。

进一步地，所述第一连接轴位于所述套筒内的一段为中空的充水段，所述密封圈套接于所述充水段的外围，且所述密封圈为三道，且包括相对靠近真空腔室外侧壁的第一密封圈，以及相对远离所述真空腔室外侧壁的第二密封圈和第三密封圈，其中所述第二密封圈和第三密封圈之间的套筒内壁上分别开设有环形的进水槽和环形的回水槽，所述充水段分别开设有与所述进水槽相连通的进水孔以及与所述回水槽相连通的出水孔，所述套筒外壁上分别开设有所述进水槽的进水口和所述回水槽的出水口。

进一步地，所述套筒的两端内壁上各设有一滚动轴承，所述第一连接轴的第二端依次穿过两个所述滚动轴承的内圈以使第一连接轴安装于两个所述滚动轴承上，从而将所述第一连接轴进行径向固定。