[实用新型]一种芯片测试和编带调整装置有效
申请号: | 201721378527.3 | 申请日: | 2017-10-24 |
公开(公告)号: | CN207381368U | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 李国祥;汪阳;胡惠民;邱冬冬 | 申请(专利权)人: | 长电科技(滁州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/68;H01L21/687 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 蒋海军 |
地址: | 239000 安徽省滁州市经济*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 测试 调整 装置 | ||
本实用新型公开了一种芯片测试和编带调整装置,属于芯片测试和包装技术领域。本实用新型包括吸嘴、测试装置以及在载带上方按工艺顺序排列的防翘脚入袋机构和防盖带偏移机构,吸嘴将测试装置测试后的芯片转入防翘脚入袋机构,其中:测试装置包括霍尔线圈,在所述霍尔线圈顶部的调试区的几何中心处设置一测试芯片的沉孔,达到提供稳定磁场的目的;防翘脚入袋机构包括方形压板和由方形压板的中部向载带运行方向外伸设置的编带窗口;编带窗口底部开放为外开口;防盖带偏移机构包括压板、支架和固定架;压板、支架和固定架依次连接,连接方式为软连接;编带窗口和盖带槽的竖向中心线在同一平面,以保证芯片入袋后盖带和载带封合的均匀和严密。
技术领域
本实用新型涉及芯片测试和包装技术领域,尤其涉及一种芯片测试和编带调整装置。
背景技术
目前,在半导体集成电路制造工艺中,需要对切割封装后的成品芯片进行进一步测试并转入载带的布袋中进行封装,测试过程中,霍尔线圈起到提供磁场的作用。
如图2所示,原普通的霍尔线圈在测试区无法产生稳定的磁场,产品参数在设定的范围内容易跳边,这是由于产品在测试时因线圈结构的原因只能在线圈上方3mm(板厚3mm)处测试,当调整吸嘴行程时,吸嘴下的产品便会在线圈外围磁场上下动作,而线圈外围磁场是极其不稳定的,离线圈越近磁场就越大,故产品测得的高斯量最大与最小之差值很大。
测试后,需要转入载带进行封装,如图3所示,只是在右侧安装了一块压住载带的方形压板(21),厚度1mm,吸嘴上2.9X2.8mm(其中2.8mm代表产品的引脚之间跨度)的芯片产品随着吸嘴的下降进入到3.3X3.2mm的载带POCKET(可译为布袋)内,而载带的POCKET 的3.2mm是宽度,宽度2.8mm的产品进入到宽度3.2mm的POCKET内,允许的误差仅有左右正负0.2mm,吸嘴上的产品由于各种原因有可能偏移会超出正负0.2mm,而一旦超过正负 0.2mm,即吸嘴上的产品位置不对正时,产品的引脚便会碰到POCKET的边沿,从而会产生翘脚的现象。
如图4所示,现有设计的编带站的盖带压块的底板(314)和支板(317)之间是硬连接,并通过紧固孔(316)固定于编带站,为了避免盖带出槽,设计的盖带槽(311)的宽度远远大于盖带,压在底下的盖带完全受右方的限位轮限住,在25mm长的位置上没有受控,压板的槽口宽度为11mm,而盖带宽度为5.5mm,故盖带可以前后移动,完全靠盖带的绷紧程度来决定,在实际使用过程中会出现盖带偏移之现象,一直困扰着生产线,且不可调,因为出现偏移是随机的,原因可能是压板脏或盖带松弛,而盖带偏移造成的盖带脱开及拉丝能引起封合不良率,迫切需要改进。
经检索,中国专利申请,申请号:201510949562.5,公开日:2016.05.04,公开了一种霍尔巴赫磁体匀场线圈及其设计方法,具体针对霍尔巴赫磁体的结构特点和主磁场方向,根据磁场结构特征对电流密度函数进行灵活设计,然后利用比奥萨瓦特定律推导出电流密度与主磁场之间的关系,从而反演出电流分布函数,同时考虑匀场线圈对功率损耗函数,线性度等参数的要求,对线圈结构进行优化。该实用新型对霍尔巴赫磁体给出两种结构的线圈结果,在结构复杂度和性能方面各有利弊,可根据实际需求灵活进行选择。该实用新型理论性强,应用于成品芯片的测试时,还需要进行相应的数据转化和具体的结构设计。
中国专利申请,申请号:201621091040.2,公开日:2017.05.10,公开了一种载带包装一体机,载带包装一体机,包括设置在工作台上的控制器、元件流道、上带卷盘、热封装置、载带卷盘、收料卷盘、搬运装置、检测台;载带卷盘和收料卷盘分别横向设置在工作台的两侧,之间形成载带流道;自载带卷盘向收料卷盘,载带流道上依次设有上带卷盘、热封装置;元件流道和载带流道之间设有检测台;控制器通过搬运装置将元件流道内的元器件依次经检测台搬运至载带流道上的载带内,通过热封装置将载有元器件的载带用上带封固后,由收料卷盘卷收。该实用新型提供的一种载带包装一体机,通过工件台检测元器件是否合格,不合格品由搬运装置转至不良品盒;通过热封刀两侧的热封辊轴将上带和载带及胶抚平,防止爆带。该实用新型能将不合格的包装品挑出,但不能预防不合格包装的生产。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造