[实用新型]一种基于半导体激光准直的反射式垂直度检测系统

权利要求书

1.一种基于半导体激光准直的反射式垂直度检测系统，其特征在于：该系统包括半导体激光器、半透半反镜、镜面全反射镜、CCD和钻孔器；所述钻孔器采用轴中空的倒T型结构，其端部对应于圆弧物体表面，与端部垂直的延伸部内设置有所述半导体激光器和半透半反镜；位于所述延伸部侧壁设置有一通孔，该通孔的圆心与所述半透半反镜的中心位于同一水平线；所述半导体激光器发射出的激光光束传输至所述半透半反镜后，分为第一透射光和第一反射光；所述第一透射光经透明介质垂直照射在所述圆弧物体表面上后，反射回所述半透半反镜，经所述半透半反镜再次分束成第二透射光和第二反射光；所述第二反射光穿过所述通孔照射在位于所述钻孔器外部的所述镜面全反射镜，所述镜面全反射镜与所述通孔位置对应设置；所述第二反射光经所述镜面全反射镜后反射至所述CCD。

2.如权利要求1所述的一种基于半导体激光准直的反射式垂直度检测系统，其特征在于：所述半导体激光器发射出的激光光束与所述钻孔器同轴。

3.如权利要求1所述的一种基于半导体激光准直的反射式垂直度检测系统，其特征在于：所述半透半反镜的分光比为50:50。

4.如权利要求1或2或3所述的一种基于半导体激光准直的反射式垂直度检测系统，其特征在于：所述半透半反镜呈倾斜设置在所述钻孔器的延伸部内，所述半透半反镜与所述半导体激光器发射出的准直激光光束夹角为45°。