[实用新型]晶圆盒承载装置

权利要求书

1.一种晶圆盒承载装置，其特征在于，所述晶圆盒承载装置用以承载一晶圆盒，所述晶圆盒用以承装8英寸晶圆片，所述晶圆盒承载装置包含：

一本体，其具有一承载平台，所述承载平台设置有两个限位结构，两个所述限位结构共同环绕形成有不大于400*300平方公厘的承载面，所述承载面用以承载所述晶圆盒；以及

一充气系统，其设置于所述本体，所述充气系统与一供气设备相连接，所述充气系统用以更换设置于所述承载平台上的所述晶圆盒内的气体，所述充气系统于所述承载平台仅露出设置有一进气喷嘴及一排气喷嘴，所述充气系统能通过所述进气喷嘴将一预定气体输入设置于所述承载平台的所述晶圆盒中，且所述充气系统能通过所述排气喷嘴将设置于所述承载平台的所述晶圆盒中的气体向外排出。

2.依据权利要求1所述的晶圆盒承载装置，其特征在于，所述承载平台设置有多个固定件，各个所述固定件凸出于所述承载面设置，各个所述固定件能与所述晶圆盒底部相互卡合，以限制所述晶圆盒相对于所述承载平台移动。

3.依据权利要求2所述的晶圆盒承载装置，其特征在于，所述晶圆盒承载装置还包含有一控制模块，所述承载平台设置有至少一感测单元，其用以感测所述承载面上方的环境状态，以对应产生一感测信息，所述控制模块电性连接所述感测单元及所述充气系统，所述控制模块接收所述感测信息时，能选择性地控制所述充气系统动作，以通过所述进气喷嘴及所述排气喷嘴，对所述晶圆盒内进行气体交换作业。

4.依据权利要求3所述的晶圆盒承载装置，其特征在于，所述承载平台还设置有一限位组件，所述限位组件能受控制，而与所述晶圆盒相互卡合；当所述控制模块控制设置于所述承载平台的所述晶圆盒的一活动门开启时，所述控制模块能控制所述限位组件动作，以与所述晶圆盒相互卡合，据以限制所述晶圆盒相对于所述承载平台动作。

5.依据权利要求4所述的晶圆盒承载装置，其特征在于，所述充气系统包含有一主进气管路及一副进气管路，所述主进气管路与所述供气设备连接，所述主进气管路设置有一气动开关单元，所述气动开关单元与所述副进气管路的另一端相连通，所述气动开关单元能选择性地阻断所述主进气管路的连通；所述副进气管路设置有一电动开关单元，所述电动开关单元能控制而选择性地阻断所述副进气管路的连通；其中，所述电动开关单元受控制而使所述副进气管路的两端相连通时，通过所述副进气管路的气体，能驱使所述气动开关单元开启，而使所述供气设备提供的气体能通过所述主进气管路进入所述晶圆盒中。

6.依据权利要求5所述的晶圆盒承载装置，其特征在于，所述充气系统还包含有一排气模块，其包含有一排气管路及一排气单元，所述排气管路与所述排气喷嘴相连接，所述排气单元能受所述控制模块控制，而选择性地通过所述排气喷嘴使所述晶圆盒中的气体向外排出。

7.依据权利要求6所述的晶圆盒承载装置，其特征在于，所述排气模块还包含有一辅助排气单元，其设置于所述排气管路，所述辅助排气单元与所述主进气管路相连通，而部份所述主进气管路的气体能进入所述辅助排气单元，所述辅助排气单元能与所述排气单元相互配合，以使所述排气管路呈现为负压状态。

8.依据权利要求7所述的晶圆盒承载装置，其特征在于，所述排气模块还包含有一调节单元，其连接所述主进气管路及所述辅助排气单元，所述调节单元能调节由所述主进气管路进入所述辅助排气单元的气体流量。