[实用新型]一种半导体晶圆厂房气体监控系统

权利要求书

1.一种半导体晶圆厂房气体监控系统，其特征在于：包括多个区域监测单元(1)、监控单元(2)和云管理平台(3)，

每个所述区域监测单元(1)均包括设置于一个区域内的控制器(11)和多个气体传感器(12)，所述控制器(11)与所述区域内的多个所述气体传感器(12)连接；

所述监控单元(2)与多个所述控制器(11)连接，所述云管理平台(3)与所述监控单元(2)连接，用于存储气体浓度信息；

其中，所述控制器(11)与其区域内的多个所述气体传感器(12)之间,以及所述控制器(11)与所述监控单元(2)之间均通过以太网端口连接；

所述监控单元(2)包括监控服务器(21)和多个监控客户端(22)，所述监控服务器(21)分别与所述控制器(11)、所述监控客户端(22)和所述云管理平台(3)连接；

多个监控客户端(22)均与监控服务器(21)之间通过局域网连接，用于实时显示气体浓度信息，并提供人机界面以向每个区域监测单元(1)输入控制指令；

每个所述区域监测单元(1)还包括与其区域内的所述气体传感器(12)相对应的多个执行器(13)，所述控制器(11)与其区域内的多个所述执行器(13)之间通过以太网端口连接。

2.根据权利要求1所述一种半导体晶圆厂房气体监控系统，其特征在于：所述半导体晶圆厂房气体监控系统还包括移动客户端(4)，所述移动客户端(4)与所述云管理平台(3)连接。

3.根据权利要求1所述一种半导体晶圆厂房气体监控系统，其特征在于：所述气体传感器(12)为M IDAS气体传感器。