[实用新型]一种半导体晶圆厂房气体监控系统

说明书

本实用新型涉及一种半导体晶圆厂房气体监控系统，其包括多个区域监测单元、监控单元和云管理平台，每个区域监测单元均包括控制器和多个气体传感器，气体传感器采集气体浓度信息；控制器收集气体浓度信息；监控单元与多个控制器连接；云管理平台与监控单元连接；控制器与其区域内的多个气体传感器之间、控制器与监控单元之间之间均通过以太网端口连接。本实用新型的有益效果是：根据半导体晶圆厂房气体及设备区域性比较强的特点，采用按区域划分的方法，通过以太网进行组网，并逐级向上进行信息汇总，具有组网方便，配置简单，层次结构清晰，可靠性高，后期扩展维护方便等优点。

技术领域

本实用新型涉及气体监控技术领域，特别涉及一种半导体晶圆厂房气体监控系统。

背景技术

在半导体晶圆厂的工艺制造过程中，会用到各种各样的气体：有毒和易燃易爆的气体，如：AsH₃,PH₃,SiH₄,B₂H₆等；腐蚀性气体，如HCL,HF等；氧化性气体，如：CL₂，N₂O等。所以在半导体晶圆厂申请气体、使用气体和排放气体时，强制需要安装气体监控系统，以保证生命和财产安全。可见气体监控系统在半导体晶圆厂具有举足轻重的作用，建立一套可靠有效的气体监控系统意义重大。

而目前的半导体晶圆厂房气体监控系统，是以PLC控制单元为核心而建立的，所有气体传感器和执行器都通过线缆连接到PLC控制单元的I/O模块，现场走线复杂，工程量大，PLC机架占用了中控室本来就紧张的空间。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种半导体晶圆厂房气体监控系统，以克服上述现有技术中的不足。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种半导体晶圆厂房气体监控系统，包括多个区域监测单元、监控单元和云管理平台，

每个区域监测单元均包括设置于一个区域内的控制器和多个气体传感器，控制器与区域内的多个气体传感器连接；

监控单元与多个控制器连接，云管理平台与监控单元连接，用于存储气体浓度信息；

其中，控制器与其区域内的多个气体传感器之间，以及控制器与监控单元之间均通过以太网端口连接；

监控单元包括监控服务器和多个监控客户端，监控服务器分别与控制器、监控客户端和云管理平台连接；

多个监控客户端均与监控服务器之间通过局域网连接，用于实时显示气体浓度信息，并提供人机界面以向每个区域监测单元输入控制指令；

每个区域监测单元还包括与其区域内的气体传感器相对应的多个执行器，控制器与其区域内的多个执行器之间通过以太网端口连接。

本实用新型的有益效果是：每个气体传感器均对应的采集其区域内的一种气体浓度信息，并通过以太网端口将采集到的气体浓度信息传送给其区域内的控制器；而与控制器之间通过以太网端口连接的监控单元将收集、实时显示气体浓度信息，并提供人机交互界面以供操作人员向每个区域监测单元输入控制指令；同时云管理平台可通过公网访问监控单元，对气体浓度信息进行存储。本实用新型根据半导体晶圆厂房气体及设备区域性比较强的特点，采用按区域划分的方法，通过以太网进行组网，并逐级向上进行信息汇总，具有组网方便，层次结构清晰等优点；各区域控制器之间相互独立，只负责控制各自的区域，可靠性高；监控服务器与控制器连接，用于收集气体浓度信息，监控服务器与云管理平台连接，便于云管理平台访问监控服务器，对气体浓度信息进行存储；多个监控客户端与监控服务器连接，可实时显示气体浓度信息，并提供人机界面以供操作人员向每个区域监测单元输入控制指令。通过部署一台监控服务器，在多个需要监控显示的地区部署监控客户端，实现系统中软、硬件资源的最大限度的利用。

进一步：半导体晶圆厂房气体监控系统还包括移动客户端，移动客户端与云管理平台连接。