[实用新型]一种适用于太阳能电池硅片的扩散装置

权利要求书

1.一种适用于太阳能电池硅片的扩散装置，包括扩散炉(1)、设置于所述扩散炉(1)内的石英舟(2)、伸入所述扩散炉(1)内用于通入扩散气体的进气管(3)和排出扩散尾气的尾气管(4)，其特征在于，

所述进气管(3)和所述尾气管(4)分别设置于所述石英舟(2)的上下两侧并沿着所述石英舟(2)的长度方向设置，所述尾气管(4)的对应于所述石英舟(2)的两个端部的位置处开设有若干抽气孔(41)，

所述石英舟(2)的两个端部设置有可拆卸的挡板(5)，所述挡板(5)靠近所述石英舟(2)的外侧的硅片设置，且所述挡板(5)和该硅片之间的间距与相邻两个硅片之间的间距一致。

2.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，若干所述抽气孔(41)分布于所述尾气管(4)的一个或一个以上的横截面上，每个所述横截面上设置有多个所述抽气孔(41)。

3.根据权利要求2所述的扩散装置，其特征在于，一个以上的所述横截面均匀间隔设置，且相邻两个所述横截面之间的间距为0.5～1.5cm。

4.根据权利要求2所述的扩散装置，其特征在于，至少一个所述横截面与所述石英舟(2)的外侧的硅片对齐。

5.根据权利要求2所述的扩散装置，其特征在于，所述横截面的数量为1～3个，每个所述横截面上设置有至少3个所述抽气孔(41)。

6.根据权利要求1～5任一项所述的扩散装置，其特征在于，所述抽气孔(41)的孔径为1.5～2.5mm。

7.根据权利要求2～5任一项所述的扩散装置，其特征在于，位于外侧的两个所述横截面之间的距离为3.5～4.5cm。

8.根据权利要求1所述的扩散装置，其特征在于，所述石英舟(2)的两个端部分别设置有挡板槽(7)，所述挡板(5)插入所述挡板槽(7)中。

9.根据权利要求8所述的扩散装置，其特征在于，所述挡板槽(7)的宽度为所述石英舟(2)的舟槽(6)的3倍，所述挡板(5)的厚度为2.5～3.5mm。

10.根据权利要求1、8或9所述的扩散装置，其特征在于，所述挡板(5)为石英挡板。