[实用新型]一种用于坩埚口部自动涂层的设备有效
申请号: | 201721427080.4 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN207563145U | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
发明(设计)人: | 范玉华;李卫涛;范玉东;赵瑞敏 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | B05B13/02 | 分类号: | B05B13/02;B05B16/00;B05B12/32 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 王鹏 |
地址: | 055550 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 机台 圆形转盘 坩埚口 喷枪 坩埚 挡板 坩埚喷涂 喷涂系统 电动机 导气管 法兰盘 气压泵 支脚 本实用新型 电动机连接 单晶硅 均匀布置 连接挡板 主轴上部 拉制 上平面 转动轮 喷涂 倒扣 下端 皮带 合格率 保证 | ||
1.一种用于坩埚口部自动涂层的设备,其特征在于,包括坩埚喷涂机和喷涂系统;
所述坩埚喷涂机包括涂层间、机台、电动机,所述涂层间固定在所述机台上部,所述电动机固定在所述机台下部;所述涂层间内设置有挡板、圆形转盘、法兰盘以及主轴;所述挡板为能够水平收缩的挡板;所述主轴为空心主轴;所述挡板的底部中心与主轴上端固定连接,所述主轴下端连接转动轮,所述转动轮由电动机通过传动皮带带动旋转;所述法兰盘位于所述圆形转盘中间,所述圆形转盘与所述法兰盘固定连接,所述主轴贯穿于所述法兰盘和所述机台中部,所述法兰盘固定在所述主轴中间段;所述挡板上还设置有多个坩埚支脚;所述坩埚支脚均匀布置在所述圆形转盘上平面,坩埚倒扣在所述圆形转盘上并由所述坩埚支脚固定;
所述喷涂系统包括气压泵、导气管以及第一喷枪和第二喷枪;所述气压泵通过导气管分别与所述第一喷枪、第二喷枪和主轴下端连接;所述第一喷枪贯穿所述机台和法兰盘进入涂层间,喷枪头朝向倒扣坩埚内侧的口部;所述第二喷枪穿过涂层间外壳,喷枪头朝向倒扣坩埚外侧。
2.根据权利要求1所述的一种用于坩埚口部自动涂层的设备,其特征在于,所述坩埚支脚为下部带有卡块的圆弧形支脚,所述圆形转盘半径方向间隔设置至少两条长方形卡槽,坩埚支脚下端的卡块对应卡嵌在卡槽内,所述圆形转盘上还设有弹簧,所述弹簧一端与坩埚支脚连接,另一端与所述法兰盘外侧连接。
3.根据权利要求1所述的一种用于坩埚口部自动涂层的设备,其特征在于,所述挡板为圆形耐热气囊。
4.根据权利要求1所述的一种用于坩埚口部自动涂层的设备,其特征在于,所述涂层间为四周一面能打开的空间。
5.根据权利要求1所述的一种用于坩埚口部自动涂层的设备,其特征在于,所述第二喷枪与所述涂层间外壳连接处为密封连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于坩埚口部自动涂层的设备,其特征在于,所述气压泵与所述电动机由电源开关同时控制。
7.根据权利要求1所述的一种用于坩埚口部自动涂层的设备,其特征在于,所述涂层间内部还设置有固定支架,所述固定支架位于涂层间内部,坩埚外侧。
8.根据权利要求7所述的一种用于坩埚口部自动涂层的设备,其特征在于,所述固定支架设置有支撑部,所述支撑部可拆卸的连接在所述固定支架上,所述第二喷枪由支撑部支撑。
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