[实用新型]一种用于坩埚口部自动涂层的设备

说明书

一种用于坩埚口部自动涂层的设备，包括坩埚喷涂机和喷涂系统；坩埚喷涂机包括涂层间、机台以及电动机，涂层间固定在机台上部，电动机固定在机台下部；涂层间内设置有挡板、圆形转盘、法兰盘以及主轴；在坩埚倒扣时挡板位于坩埚口部，圆形转盘设置有多个坩埚支脚，坩埚支脚均匀布置在圆形转盘上平面，主轴上部连接挡板，中部通过法兰盘与圆形转盘固定连接，主轴下端连接转动轮通过皮带与固定在机台的下部的电动机连接；喷涂系统包括气压泵、导气管以及第一喷枪和第二喷枪；气压泵通过导气管分别于第一喷枪、第二喷枪和挡板连接。本实用新型在坩埚口部喷涂一种物质增加坩埚强度，保证了拉制单晶硅的质量和合格率，并降低了坩埚喷涂成本。

技术领域

本实用新型涉及坩埚设备领域，尤其涉及一种用于坩埚的喷涂设备。

背景技术

坩埚是拉制单晶硅必不可少的基础材料，其具备一下热学性能：它的形变点为1075℃，它的软化点为1730℃。其最高连续使用温度为1100℃，短时间内为1450℃。

但是拉制单晶硅时，温度需在1430℃左右。坩埚在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体(方石英)。这个过程称为再结晶，也称为“失透”，通常也称为“析晶”。析晶通常发生在坩埚的表层，长时间高温拉晶时，坩埚口部在高温条件下最容易发生析晶、高温变形，导致坩埚在拉晶过程中产生污染影响拉制多晶硅的质量和合格率，并且坩埚损坏不能再次使用。据统计了解坩埚析晶、高温软化变形对拉晶过程影响最大的的部位是坩埚口部，所以需要在坩埚口部喷涂一种物质增加坩埚强度。现有的坩埚喷涂技术为全喷涂，虽然解决了坩埚的“析晶”问题，但是坩埚的喷涂成本高，使单晶硅制作成本偏高。而实际使用中坩埚在拉晶过程中使用次数有限，在坩埚有限寿命内是无需大范围喷涂用以增强其强度，这样不仅造成了浪费，增加了其制作成本，并且也不能够显著的增加其使用寿命。通过上述统计结果仅仅对坩埚口部喷涂增强其强度即可解决拉制单晶硅时的“析晶”问题，这样既减少了浪费，也降低了其制作成本，也保证了拉制多晶硅的质量和合格率。

因此，研制开发一种用于喷涂坩埚口部喷涂的设备显得既迫切又有意义。

实用新型内容

本实用新型的目的就是针对上述现有技术的不足，提供一种用于坩埚口部自动涂层的设备。可对坩埚口部进行喷涂。

本实用新型的技术方案是：一种用于坩埚口部自动涂层的设备包括坩埚喷涂机和喷涂系统；

进一步的，坩埚喷涂机包括涂层间、机台以及电动机，喷涂间固定在机台上，电动机固定在机台下部；

进一步的，涂层间内设置有挡板、圆形转盘、法兰盘以及主轴；挡板为能够水平收缩的挡板；主轴为空心主轴；挡板的底部中心与主轴上端固定连接，主轴下端连接转动轮，转动轮由电动机通过传动皮带带动旋转；法兰盘位于所述圆形转盘中间，圆形转盘与所述法兰盘固定连接，主轴贯穿于所述法兰盘和机台中部，法兰盘固定在所述主轴中间段；挡板上还设置有多个坩埚支脚；所埚支脚均匀布置在所述圆形转盘上平面，坩埚倒扣在所述圆形转盘上并由所述坩埚支脚固定；

进一步的，圆形转盘上设置多个坩埚支脚；坩埚支脚为下部带有卡块的圆弧形支脚，圆形转盘半径方向间隔设置至少两条长方形卡槽，坩埚支脚下端的卡块对应卡嵌在卡槽内，圆形转盘上还设有弹簧，弹簧一端与坩埚支脚连接，另一端与所述法兰盘外侧连接，弹簧具有向外的弹性势能，坩埚支脚的形状便于圆形坩埚放置，坩埚支脚可以根据坩埚型号不同，在半径方向任意调节。

进一步的，喷涂系统包括气压泵、导气管、第一喷枪以及第二喷枪；气压泵通过导气管分别于第一喷枪、第二喷枪和主轴下端连接；第一喷枪贯穿所述机台和法兰盘进入涂层间，喷枪头朝向倒扣坩埚的口部内侧，针对坩埚口部内侧进行喷涂；第二喷枪穿过密闭的涂层间外壳，喷枪头朝向倒扣坩埚的外侧，针对坩埚外侧进行喷涂。