[实用新型]一种单晶炉导流筒有效
| 申请号： | 201721443022.0 | 申请日： | 2017-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN207760444U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 陈钦强 | 申请（专利权）人： | 青海日晶光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都元信知识产权代理有限公司 51234 | 代理人： | 孙法胜 |
| 地址： | 817099 青海省海西蒙古族*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外筒 导流筒 内筒 连接结构 本实用新型 单晶炉 单晶硅生产 固定设置 连接内筒 生产过程 生产效率 石英坩埚 组合结构 内筒套 中内筒 生产成本 破裂 污染 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶炉导流筒，其特征在于：包括外筒和内筒，所述内筒套设在外筒内，外筒和内筒之间设置有连接结构，所述内筒通过连接结构固定设置在外筒内；所述连接结构包括设置在内筒一端端部的多个卡扣和设置在外筒一端内壁上的卡板，所述卡扣分别卡在卡板上；所述内筒另一端设置有向外延伸的内筒法兰；所述外筒另一端设置有向外延伸的外筒法兰，内筒法兰与外筒法兰相配合；所述外筒法兰和内筒法兰上对应设置有定位孔，所述定位孔内设置有定位销。
2.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述卡板包括沿外筒内壁向中心延伸的环形连接件、连接在连接件上的环形连接筒和连接在连接筒端部的连接法兰，连接法兰和连接件之间形成可容纳卡扣的卡槽，所述卡扣设置在卡槽内，所述连接法兰上设置有多个供卡扣通过的缺口，缺口在连接法兰上的位置与内筒上卡扣的位置相对应。
3.根据权利要求2所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述内筒设置有卡扣的一端内壁设置有与连接法兰上表面配合的凸缘。
4.根据权利要求1所述的单晶炉导流筒，其特征在于：所述外筒和内筒均为锥形筒状结构。
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