[实用新型]一种单晶炉导流筒

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉导流筒，包括外筒和内筒，所述内筒套设在外筒内，外筒和内筒之间设置有连接结构，所述内筒通过连接结构固定设置在外筒内。本实用新型中的导流筒采用内筒和外筒的组合结构，通过在内筒和外筒之间设置连接结构连接内筒和外筒，当导流筒在使用过程中内筒或外筒发生破裂时，导流筒不会掉入石英坩埚内，很好的解决了单晶硅生产过程中存在的问题，避免了生产过程中对原料造成的污染，提高了生产效率，降低了生产成本。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种用于单晶炉的导流筒。

背景技术

导流筒作为单晶炉中重要的组成部分，对晶体的生长有很大的影响，其在单晶炉中的主要作用是控制氩气的流向来降低晶棒的温度。导流筒一般用高纯的石墨材料制成的，现有的导流筒都是单层的石墨结构，由于石墨本体长时间在高温环境下使用，会使导流筒发生破裂，掉进硅熔体中污染原料并砸坏石英坩埚，给单晶硅的生产造成了很大的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有导流筒在使用中存在的上述技术问题，提供一种结构简单的单晶炉导流筒，可解决单晶硅生产过程中导流筒破裂后易掉入到硅熔体中的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种单晶炉导流筒，包括外筒和内筒，所述内筒套设在外筒内，外筒和内筒之间设置有连接结构，所述内筒通过连接结构固定设置在外筒内。

上述技术方案中，进一步地，所述连接结构包括设置在内筒一端端部的多个卡扣和设置在外筒一端内壁上的卡板，所述卡扣分别卡在卡板上。

上述技术方案中，进一步地，所述卡板包括沿外筒内壁向中心延伸的环形连接件、连接在连接件上的环形连接筒和连接在连接筒端部的连接法兰，连接法兰和连接件之间形成可容纳卡扣的卡槽，所述卡扣设置在卡槽内，所述连接法兰上设置有多个供卡扣通过的缺口，缺口在连接法兰上的位置与内筒上卡扣的位置相对应。

上述技术方案中，进一步地，所述内筒设置有卡扣的一端内壁设置有与连接法兰上表面配合的凸缘。

上述技术方案中，进一步地，所述内筒另一端设置有向外延伸的内筒法兰，内筒法兰与外筒端面相配合。

上述技术方案中，进一步地，所述外筒另一端设置有向外延伸的外筒法兰，内筒法兰与外筒法兰相配合。

上述技术方案中，进一步地，所述外筒法兰和内筒法兰上对应设置有定位孔，所述定位孔内设置有定位销。

上述技术方案中，进一步地，所述外筒和内筒均为锥形筒状结构。

本实用新型所具有的有益效果：

本实用新型中的导流筒采用内筒和外筒的组合结构，通过在内筒和外筒之间设置连接结构连接内筒和外筒，当导流筒在使用过程中内筒或外筒发生破裂时，导流筒不会掉入石英坩埚内，很好的解决了单晶硅生产过程中存在的上述问题，避免了生产过程中石英坩埚破裂对原料造成的污染，提高了生产效率，降低了生产成本。

该导流筒中内筒和外筒之间所采用的连接结构简单，整体性好，便于石墨材质的内筒和外筒的加工成型。

附图说明

图1为本实用新型中结构示意图。

图2为图1中A处局部示意图。

图3为本实用新型中外筒结构俯视图。

图中：1、外筒，101、卡板，111、连接件，112、连接筒，113、连接法兰，114、卡槽，115、缺口，102、外筒法兰，2、内筒，201、卡扣，202、凸缘，203、内筒法兰，3、定位销，4、定位孔。

具体实施方式