[实用新型]用于激光退火工程的供气系统

权利要求书

1.一种用于激光退火工程的供气系统，包括退火室(1)和为所述退火室(1)提供惰性气体的气箱(2)，所述退火室(1)与气箱(2)之间通过供气管(12)连接，其特征在于：还包括收集所述退火室(1)内排出气体的气体分离单元(3)，所述气体分离单元(3)分别通过回气管(13)与连接气管与所述退火室(1)、气箱(2)连接以向退火室(1)内形成循环供气。

2.根据权利要求1所述的用于激光退火工程的供气系统，其特征在于：所述气箱(2)上设有用于连接气源的输气管(20)。

3.根据权利要求2所述的用于激光退火工程的供气系统，其特征在于：所述气源至气箱(2)的气体流通路径上设有调节惰性气体量的第一流量阀(5)。

4.根据权利要求1所述的用于激光退火工程的供气系统，其特征在于：所述气体分离单元(3)与所述气箱(2)之间设有用于净化从气体分离单元(3)中所分离气体的净化器(4)。

5.根据权利要求4所述的用于激光退火工程的供气系统，其特征在于：所述净化器(4)分别通过第一连接气管(34)与第二连接气管(24)与所述气体分离单元(3)、气箱(2)连接。

6.根据权利要求5所述的用于激光退火工程的供气系统，其特征在于：所述净化器(4)至气箱(2)的气体流通路径上设有调节惰性气体量的第二流量阀(6)。

7.根据权利要求1所述的用于激光退火工程的供气系统，其特征在于：所述气体分离单元(3)上设有排出气体的排气管(30)。

8.根据权利要求1所述的用于激光退火工程的供气系统，其特征在于：所述惰性气体包括氮气、氦气、氖气、氩气、氙气中的一种。