[实用新型]一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置

权利要求书

1.一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置，其特征在于：包括密封箱、原料反应釜和密封盖，所述密封箱上端安装有所述密封盖，所述密封盖内侧设置有密封垫圈，所述密封盖一端设置有密封盖固定卡口，所述密封箱上端安装有控制阀，所述控制阀上端安装有原料导入管一，所述控制阀上端安装有原料导入管二，所述密封盖上端安装有控制盒，所述控制盒内部设置有80C51单片机，所述控制盒内部安装有电源，所述控制盒上端安装有报警器，所述密封箱内部安装有反应釜固定底座，所述反应釜固定底座上端安装有原料反应釜，所述密封箱一端安装有压力泵，所述密封箱底部设置有导出管控制阀，所述导出管控制阀下端设置有反应气体导出管。

2.根据权利要求1所述的一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置，其特征在于：所述密封盖通过压紧的方式和所述密封盖固定卡口固定安装在所述密封箱外部。

3.根据权利要求1所述的一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置，其特征在于：所述密封垫圈为耐腐蚀、耐高温高压的橡胶垫圈，并且放置在所述密封盖内侧的凹槽内。

4.根据权利要求1所述的一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置，其特征在于：所述密封盖固定卡口通过卡装的方式固定安装在所述密封盖一端，并且与所述密封箱外部的卡槽配合将所述密封盖固定。

5.根据权利要求1所述的一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置，其特征在于：所述控制阀通过螺栓固定安装在所述密封盖上端，其上端设置有所述原料导入管一和所述原料导入管二，所述原料导入管一和所述原料导入管二插入所述原料反应釜内，并且其端头设置有密封螺纹，与相配套的密封螺塞相连接。

6.根据权利要求1所述的一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置，其特征在于：所述压力泵通过螺栓固定安装在所述密封箱一侧，并且其风管插入所述密封箱内，在所述压力泵内部风管端头设置有压力阀。

7.根据权利要求1所述的一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置，其特征在于：所述反应气体导出管通过密封螺纹固定在所述导出管控制阀下端，并且在其端头设置有密封螺纹与相配套的密封螺塞相连接。