[实用新型]一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置

说明书

本实用新型公开了一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置，包括密封箱、原料反应釜和密封盖，所述密封箱上端安装有所述密封盖，所述密封盖内侧设置有密封垫圈，所述密封盖一端设置有密封盖固定卡口，所述密封箱上端安装有控制阀，所述控制阀上端安装有原料导入管一，所述控制阀上端安装有原料导入管二，所述密封盖上端安装有控制盒，所述控制盒内部设置有80C51单片机，所述控制盒内部安装有电源，所述控制盒上端安装有报警器，所述密封箱内部安装有反应釜固定底座。该装置结构简单、使用方便、装置密封性好，并且能够在所述压力泵的作用下使所述密封箱内产生负压，使所述密封箱密封性更好，安全可靠适用性强便于推广。

技术领域

本实用新型涉及四氟化碳气体生产相关技术领域，具体涉及一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置。

背景技术

电子级四氟化碳，别名四氟甲烷。无色，不可燃气体，是最稳定的有机化 合物之一。与可燃性气体燃烧时，会分解产生有毒的氟化物。其制法是采用活性炭直接氟化上艺，反应产品经涂 尘，碱洗，脱水、清馏，可制取纯度为99.99%的四氟化碳。它是微电了工业中用量最大的等离子刻蚀气体。广泛用于硅、了氧化奋、氮化砖、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的刻蚀;在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷剂、气体绝缘等方面也人量应用。在电子级四氟化碳的生产过程中，高压密封装置是必不可少的一种装置，一般的高压密封装置在使用时密封效果不明显，容易造成气体的泄露，浪费资源增加生产成本。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置，包括密封箱、原料反应釜和密封盖，所述密封箱上端安装有所述密封盖，所述密封盖内侧设置有密封垫圈，所述密封盖一端设置有密封盖固定卡口，所述密封箱上端安装有控制阀，所述控制阀上端安装有原料导入管一，所述控制阀上端安装有原料导入管二，所述密封盖上端安装有控制盒，所述控制盒内部设置有80C51单片机，所述控制盒内部安装有电源，所述控制盒上端安装有报警器，所述密封箱内部安装有反应釜固定底座，所述反应釜固定底座上端安装有原料反应釜，所述密封箱一端安装有压力泵，所述密封箱底部设置有导出管控制阀，所述导出管控制阀下端设置有反应气体导出管。

上述结构中，当使用者需要使用该装置时，将所述原料导入管一和所述原料导入管二密封接入反应原料导入管，将所述反应气体导出管密封接入气体收集箱内，启动所述80C51单片机，所述80C51单片机控制所述压力泵工作，所述压力泵将所述密封箱内的空气通过导气管排出，当有气体排出时所述压力阀被打开，所述密封箱内的空气排出后，内部的压强小而大气压压强大，在外界大气压的作用下，所述密封盖将紧紧的吸附在所述密封箱上端将其密封住，之后所述80C51单片机控制所述控制阀打开，所述控制阀打开后反应原料通过所述原料导入管一和所述原料导入管二进入所述原料反应釜内，当通入的反应原料够量后，所述80C51单片机控制所述控制阀关闭，同时控制所述导出管控制阀打开，将所述原料反应釜内部生成的气体通过所述反应气体导出管导出。

为了进一步提高一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置的使用功能，所述密封盖通过压紧的方式和所述密封盖固定卡口固定安装在所述密封箱外部。

为了进一步提高一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置的使用功能，所述密封垫圈为耐腐蚀、耐高温高压的橡胶垫圈，并且放置在所述密封盖内侧的凹槽内。

为了进一步提高一种电子级四氟化碳气体生产用高压密封装置的使用功能，所述密封盖固定卡口通过卡装的方式固定安装在所述密封盖一端，并且与所述密封箱外部的卡槽配合将所述密封盖固定。