[实用新型]一种用于砷化镓生产的热场装置有效
| 申请号： | 201721475709.2 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN207418915U | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 王文昌;于会永;张军军;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋 | 申请（专利权）人： | 大庆佳昌晶能信息材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 163000 黑龙江省大庆*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 保温筒 电加热筒 托环 保温板 砷化镓 吊绳 环形凸起 热场装置 圆锥面 电极 炉体 下沿 本实用新型 生产设备 外侧设置 坩埚托架 挂钩 导流筒 圆锥孔 上端 插装 吊起 外沿 坩埚 匹配 电路 损伤 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于砷化镓生产的热场装置，包括炉体(1)、保温筒(3)、电加热筒(4)、坩埚托架(9)、坩埚(5)和导流筒(8)，电加热筒(4)上设有用于将电加热筒(4)连接在电路中的电极(2)，其特征在于：所述的保温筒(3)的下沿设置有托环(12)，托环(12)的外沿连接有吊绳(6)，所述的炉体(1)内侧的上沿设置有挂钩(7)，所述的吊绳(6)的上端挂在挂钩(7)上，所述的保温筒(3)的下方设置有保温板(13)，保温筒(3)的下沿设置有截面为梯形的环形凸起(10)，环形凸起(10)插装在保温板(13)上的凹槽内，从而实现对保温筒(3)的固定，所述的电极(2)的外侧设置有圆锥面(11)，该圆锥面(11)与保温板(13)上的圆锥孔相匹配，从而实现对电加热筒(4)的定位。
2.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓生产的热场装置，其特征在于：所述的托环(12)由金属钨制成。
3.根据权利要求1所述的一种用于砷化镓生产的热场装置，其特征在于：所述的保温筒(3)和保温板(13)均由石墨制成。
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