[实用新型]一种用于砷化镓生产的热场装置有效
申请号: | 201721475709.2 | 申请日: | 2017-11-07 |
公开(公告)号: | CN207418915U | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 王文昌;于会永;张军军;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋 | 申请(专利权)人: | 大庆佳昌晶能信息材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/42 | 分类号: | C30B29/42;C30B35/00 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 保温筒 电加热筒 托环 保温板 砷化镓 吊绳 环形凸起 热场装置 圆锥面 电极 炉体 下沿 本实用新型 生产设备 外侧设置 坩埚托架 挂钩 导流筒 圆锥孔 上端 插装 吊起 外沿 坩埚 匹配 电路 损伤 生产 | ||
一种用于砷化镓生产的热场装置,涉及砷化镓生产设备领域,包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒,电加热筒上设有用于将电加热筒连接在电路中的电极,所述的保温筒的下沿设置有托环,托环的外沿连接有吊绳,所述的炉体内侧的上沿设置有挂钩,所述的吊绳的上端挂在挂钩上,所述的保温筒的下方设置有保温板,保温筒的下沿设置有截面为梯形的环形凸起,环形凸起插装在保温板上的凹槽内,所述的电极的外侧设置有圆锥面,该圆锥面与保温板上的圆锥孔相匹配,从而实现对电加热筒的定位。本实用新型在保温筒底部设置了托环,通过吊绳可将托环连同保温筒一同吊起,与现有技术相比,可有效避免保温筒的损伤。
技术领域
本实用新型属于砷化镓生产设备领域,尤其涉及一种用于砷化镓生产的热场装置。
背景技术
热场装置是砷化镓晶体生产过程中应用的一种重要设备,其功能是为砷化镓晶体的生长过程提供适宜的温度环境。热场装置的结构通常包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒,使用热场装置进行生产时,需要在每个生产周期后将保温筒从炉体内抬出。而现有技术中,通常采用人力搬运的方式将抬出保温筒,这种方式不但占用较多的人力,而且容易对石墨制成的保温筒造成损伤。
发明内容
本实用新型提供一种用于砷化镓生产的热场装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:本实用新型提供了一种用于砷化镓生产的热场装置,包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒,电加热筒上设有用于将电加热筒连接在电路中的电极,所述的保温筒的下沿设置有托环,托环的外沿连接有吊绳,所述的炉体内侧的上沿设置有挂钩,所述的吊绳的上端挂在挂钩上,所述的保温筒的下方设置有保温板,保温筒的下沿设置有截面为梯形的环形凸起,环形凸起插装在保温板上的凹槽内,从而实现对保温筒的固定,所述的电极的外侧设置有圆锥面,该圆锥面与保温板上的圆锥孔相匹配,从而实现对电加热筒的定位。
所述的托环由金属钨制成。所述的保温筒和保温板均由石墨制成。
本实用新型的有益效果为:
1、本实用新型在保温筒底部设置了托环,通过吊绳可将托环连同保温筒一同吊起,与现有技术相比,可有效避免保温筒的损伤。
2、本实用新型在现有技术基础上加设了保温板,通过保温板可进一步提高保温效果,节约能耗。
3、本实用新型采用插接结构将保温筒安装在保温板上,使保温筒和保温板完好衔接,避免了冷桥效应。
4、本实用新型将电极通过锥形结构安装在保温板上,使电加热筒的装配更加容易,定位也更加准确。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1中A处的局部放大图。
图中,1-炉体,2-电极,3-保温筒,4-电加热筒,5-坩埚,6-吊绳,7-挂钩,8-导流筒,9-坩埚托架,10-环形凸起,11-圆锥面,12-托环,13-保温板。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步描述:
本实施例包括炉体1、保温筒3、电加热筒4、坩埚托架9、坩埚5和导流筒8,电加热筒4上设有用于将电加热筒4连接在电路中的电极2。以上为现有技术中的通用结构在此不再赘述。
所述的保温筒3的下沿设置有托环12,托环12的外沿连接有吊绳6,所述的炉体1内侧的上沿设置有挂钩7,所述的吊绳6的上端挂在挂钩7上。本实用新型在保温筒3底部设置了托环12,通过吊绳6可将托环12连同保温筒3一同吊起,与现有技术相比,可有效避免保温筒3的损伤。
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