[实用新型]一种用于砷化镓生产的热场装置有效

专利信息
申请号: 201721475709.2 申请日: 2017-11-07
公开(公告)号: CN207418915U 公开(公告)日: 2018-05-29
发明(设计)人: 王文昌;于会永;张军军;赵春峰;袁韶阳;荆爱明;穆成锋 申请(专利权)人: 大庆佳昌晶能信息材料有限公司
主分类号: C30B29/42 分类号: C30B29/42;C30B35/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 163000 黑龙江省大庆*** 国省代码: 黑龙江;23
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 保温筒 电加热筒 托环 保温板 砷化镓 吊绳 环形凸起 热场装置 圆锥面 电极 炉体 下沿 本实用新型 生产设备 外侧设置 坩埚托架 挂钩 导流筒 圆锥孔 上端 插装 吊起 外沿 坩埚 匹配 电路 损伤 生产
【说明书】:

一种用于砷化镓生产的热场装置,涉及砷化镓生产设备领域,包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒,电加热筒上设有用于将电加热筒连接在电路中的电极,所述的保温筒的下沿设置有托环,托环的外沿连接有吊绳,所述的炉体内侧的上沿设置有挂钩,所述的吊绳的上端挂在挂钩上,所述的保温筒的下方设置有保温板,保温筒的下沿设置有截面为梯形的环形凸起,环形凸起插装在保温板上的凹槽内,所述的电极的外侧设置有圆锥面,该圆锥面与保温板上的圆锥孔相匹配,从而实现对电加热筒的定位。本实用新型在保温筒底部设置了托环,通过吊绳可将托环连同保温筒一同吊起,与现有技术相比,可有效避免保温筒的损伤。

技术领域

本实用新型属于砷化镓生产设备领域,尤其涉及一种用于砷化镓生产的热场装置。

背景技术

热场装置是砷化镓晶体生产过程中应用的一种重要设备,其功能是为砷化镓晶体的生长过程提供适宜的温度环境。热场装置的结构通常包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒,使用热场装置进行生产时,需要在每个生产周期后将保温筒从炉体内抬出。而现有技术中,通常采用人力搬运的方式将抬出保温筒,这种方式不但占用较多的人力,而且容易对石墨制成的保温筒造成损伤。

发明内容

本实用新型提供一种用于砷化镓生产的热场装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:本实用新型提供了一种用于砷化镓生产的热场装置,包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒,电加热筒上设有用于将电加热筒连接在电路中的电极,所述的保温筒的下沿设置有托环,托环的外沿连接有吊绳,所述的炉体内侧的上沿设置有挂钩,所述的吊绳的上端挂在挂钩上,所述的保温筒的下方设置有保温板,保温筒的下沿设置有截面为梯形的环形凸起,环形凸起插装在保温板上的凹槽内,从而实现对保温筒的固定,所述的电极的外侧设置有圆锥面,该圆锥面与保温板上的圆锥孔相匹配,从而实现对电加热筒的定位。

所述的托环由金属钨制成。所述的保温筒和保温板均由石墨制成。

本实用新型的有益效果为:

1、本实用新型在保温筒底部设置了托环,通过吊绳可将托环连同保温筒一同吊起,与现有技术相比,可有效避免保温筒的损伤。

2、本实用新型在现有技术基础上加设了保温板,通过保温板可进一步提高保温效果,节约能耗。

3、本实用新型采用插接结构将保温筒安装在保温板上,使保温筒和保温板完好衔接,避免了冷桥效应。

4、本实用新型将电极通过锥形结构安装在保温板上,使电加热筒的装配更加容易,定位也更加准确。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是图1中A处的局部放大图。

图中,1-炉体,2-电极,3-保温筒,4-电加热筒,5-坩埚,6-吊绳,7-挂钩,8-导流筒,9-坩埚托架,10-环形凸起,11-圆锥面,12-托环,13-保温板。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步描述:

本实施例包括炉体1、保温筒3、电加热筒4、坩埚托架9、坩埚5和导流筒8,电加热筒4上设有用于将电加热筒4连接在电路中的电极2。以上为现有技术中的通用结构在此不再赘述。

所述的保温筒3的下沿设置有托环12,托环12的外沿连接有吊绳6,所述的炉体1内侧的上沿设置有挂钩7,所述的吊绳6的上端挂在挂钩7上。本实用新型在保温筒3底部设置了托环12,通过吊绳6可将托环12连同保温筒3一同吊起,与现有技术相比,可有效避免保温筒3的损伤。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大庆佳昌晶能信息材料有限公司,未经大庆佳昌晶能信息材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721475709.2/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top