[实用新型]一种用于砷化镓生产的热场装置

说明书

一种用于砷化镓生产的热场装置，涉及砷化镓生产设备领域，包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒，电加热筒上设有用于将电加热筒连接在电路中的电极，所述的保温筒的下沿设置有托环，托环的外沿连接有吊绳，所述的炉体内侧的上沿设置有挂钩，所述的吊绳的上端挂在挂钩上，所述的保温筒的下方设置有保温板，保温筒的下沿设置有截面为梯形的环形凸起，环形凸起插装在保温板上的凹槽内，所述的电极的外侧设置有圆锥面，该圆锥面与保温板上的圆锥孔相匹配，从而实现对电加热筒的定位。本实用新型在保温筒底部设置了托环，通过吊绳可将托环连同保温筒一同吊起，与现有技术相比，可有效避免保温筒的损伤。

技术领域

本实用新型属于砷化镓生产设备领域，尤其涉及一种用于砷化镓生产的热场装置。

背景技术

热场装置是砷化镓晶体生产过程中应用的一种重要设备，其功能是为砷化镓晶体的生长过程提供适宜的温度环境。热场装置的结构通常包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒，使用热场装置进行生产时，需要在每个生产周期后将保温筒从炉体内抬出。而现有技术中，通常采用人力搬运的方式将抬出保温筒，这种方式不但占用较多的人力，而且容易对石墨制成的保温筒造成损伤。

发明内容

本实用新型提供一种用于砷化镓生产的热场装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：本实用新型提供了一种用于砷化镓生产的热场装置，包括炉体、保温筒、电加热筒、坩埚托架、坩埚和导流筒，电加热筒上设有用于将电加热筒连接在电路中的电极，所述的保温筒的下沿设置有托环，托环的外沿连接有吊绳，所述的炉体内侧的上沿设置有挂钩，所述的吊绳的上端挂在挂钩上，所述的保温筒的下方设置有保温板，保温筒的下沿设置有截面为梯形的环形凸起，环形凸起插装在保温板上的凹槽内，从而实现对保温筒的固定，所述的电极的外侧设置有圆锥面，该圆锥面与保温板上的圆锥孔相匹配，从而实现对电加热筒的定位。

所述的托环由金属钨制成。所述的保温筒和保温板均由石墨制成。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型在保温筒底部设置了托环，通过吊绳可将托环连同保温筒一同吊起，与现有技术相比，可有效避免保温筒的损伤。

2、本实用新型在现有技术基础上加设了保温板，通过保温板可进一步提高保温效果，节约能耗。

3、本实用新型采用插接结构将保温筒安装在保温板上，使保温筒和保温板完好衔接，避免了冷桥效应。

4、本实用新型将电极通过锥形结构安装在保温板上，使电加热筒的装配更加容易，定位也更加准确。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是图1中A处的局部放大图。

图中，1-炉体，2-电极，3-保温筒，4-电加热筒，5-坩埚，6-吊绳，7-挂钩，8-导流筒，9-坩埚托架，10-环形凸起，11-圆锥面，12-托环，13-保温板。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步描述：

本实施例包括炉体1、保温筒3、电加热筒4、坩埚托架9、坩埚5和导流筒8，电加热筒4上设有用于将电加热筒4连接在电路中的电极2。以上为现有技术中的通用结构在此不再赘述。

所述的保温筒3的下沿设置有托环12，托环12的外沿连接有吊绳6，所述的炉体1内侧的上沿设置有挂钩7，所述的吊绳6的上端挂在挂钩7上。本实用新型在保温筒3底部设置了托环12，通过吊绳6可将托环12连同保温筒3一同吊起，与现有技术相比，可有效避免保温筒3的损伤。