[实用新型]一种砷化镓晶片取放装置有效
| 申请号： | 201721475710.5 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN207303070U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 王文昌;于会永;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军;赵春峰 | 申请（专利权）人： | 大庆佳昌晶能信息材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 163000 黑龙江省大庆*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 晶片 装置 | ||
1.一种砷化镓晶片取放装置，包括夹臂A(4)和夹臂B(5)，二者的中部铰接相连形成钳形夹持机构，夹臂A(4)和夹臂B(5)的铰接轴处设置有使钳形夹持机构的钳口夹紧的扭力弹簧，其特征在于：所述的夹臂A(4)上与钳口对应的区段设置有软垫(2)，所述的夹臂B(5)上与钳口对应的区段设置有滑杆(12)，滑杆(12)滑动安装在夹臂B(5)上的孔内，滑杆(12)的一端铰接有夹紧块(13)，滑杆(12)的另一端设置有辊子(10)，其中，夹紧块(13)设置在夹臂B(5)的内侧，辊子(10)设置在夹臂B(5)的外侧，所述的滑杆(12)上套有可使夹紧块(13)向远离夹臂A(4)的方向运动的弹簧A(11)，夹臂B(5)的外侧设置有螺钉安装板(14)，螺钉安装板(14)上安装有螺钉A(7)，夹臂B(5)的外侧还设置有皮带(9)，皮带(9)的一端固定连接在夹臂B(5)的端部，皮带(9)的另一端绕过所述的辊子(10)后通过弹簧B(8)与螺钉A(7)的末端连接，所述的夹臂A(4)上位于钳口的一端设置有劈尖(1)。
2.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片取放装置，其特征在于：所述的夹臂A(4)的内侧设置有用于限制晶片位置的挡块(3)。
3.根据权利要求1所述的一种砷化镓晶片取放装置，其特征在于：所述的钳形夹持机构的钳口处设置有螺钉B(6)，螺钉B(6)安装在夹臂B(5)上的螺纹孔内，螺钉B(6)的末端抵在夹臂A(4)的内侧。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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