[实用新型]一种砷化镓晶片取放装置有效

专利信息
申请号: 201721475710.5 申请日: 2017-11-07
公开(公告)号: CN207303070U 公开(公告)日: 2018-05-01
发明(设计)人: 王文昌;于会永;袁韶阳;荆爱明;穆成锋;张军军;赵春峰 申请(专利权)人: 大庆佳昌晶能信息材料有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
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摘要:
搜索关键词: 一种 砷化镓 晶片 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于砷化镓生产设备领域,尤其涉及一种砷化镓晶片取放装置。

背景技术

砷化镓晶片是一种性能卓越的半导体材料,在电子产业应用广泛。在砷化镓晶片流转过程中,需要使用晶片取放装置来夹取砷化镓晶片。然而,使用现有的晶片取放装置夹取砷化镓晶片时,晶片非常容易划伤,划伤较轻时,需要再次研磨才能使用,划伤较重时,晶片直接报废,造成不必要的经济损失。

发明内容

本实用新型提供一种砷化镓晶片取放装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

本实用新型所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:本实用新型提供了一种砷化镓晶片取放装置,包括夹臂A和夹臂B,二者的中部铰接相连形成钳形夹持机构,夹臂A和夹臂B的铰接轴处设置有使钳形夹持机构的钳口夹紧的扭力弹簧,所述的夹臂A上与钳口对应的区段设置有软垫,所述的夹臂B上与钳口对应的区段设置有滑杆,滑杆滑动安装在夹臂B上的孔内,滑杆的一端铰接有夹紧块,滑杆的另一端设置有辊子,其中,夹紧块设置在夹臂B的内侧,辊子设置在夹臂B的外侧,所述的滑杆上套有可使夹紧块向远离夹臂A的方向运动的弹簧A,夹臂B的外侧设置有螺钉安装板,螺钉安装板上安装有螺钉A,夹臂B的外侧还设置有皮带,皮带的一端固定连接在夹臂B的端部,皮带的另一端绕过所述的辊子后通过弹簧B与螺钉A的末端连接,所述的夹臂A上位于钳口的一端设置有劈尖。

所述的夹臂A的内侧设置有用于限制晶片位置的挡块。所述的钳形夹持机构的钳口处设置有螺钉B,螺钉B安装在夹臂B上的螺纹孔内,螺钉B的末端抵在夹臂A的内侧。

本实用新型的有益效果为:本实用新型采用了以滑杆和皮带为特征的夹紧机构,通过夹紧块的移动实现晶片的夹紧,晶片夹紧过程中,由与夹紧块施加的夹紧力是柔性的,因此对晶片的冲击极小,有效避免晶片被划伤损坏。同时,通过螺钉A调整弹簧B的预紧力,可对皮带承受的拉力进行调整,从而对夹紧块的夹紧力进行调整,从而适应不同规格的晶片。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中,1-劈尖,2-软垫,3-挡块,4-夹臂A,5-夹臂B,6-螺钉B,7-螺钉A,8-弹簧B,9-皮带,10-辊子,11-弹簧A,12-滑杆,13-夹紧块,14-螺钉安装板。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型做进一步描述:

本实施例包括夹臂A4和夹臂B5,二者的中部铰接相连形成钳形夹持机构,夹臂A4和夹臂B5的铰接轴处设置有使钳形夹持机构的钳口夹紧的扭力弹簧(图中未示出)。以上为现有技术中的通用结构,在此不再赘述。

所述的夹臂A4上与钳口对应的区段设置有软垫2,从而防止晶片被划伤。

所述的夹臂B5上与钳口对应的区段设置有滑杆12,滑杆12滑动安装在夹臂B5上的孔内,滑杆12的一端铰接有夹紧块13,滑杆12的另一端设置有辊子10,其中,夹紧块13设置在夹臂B5的内侧,辊子10设置在夹臂B5的外侧。本实用新型采用了以滑杆12和皮带9为特征的夹紧机构,通过夹紧块13的移动实现晶片的夹紧,晶片夹紧过程中,由于夹紧块13施加的夹紧力是柔性的,因此对晶片的冲击极小,有效避免晶片被划伤损坏。

所述的滑杆12上套有可使夹紧块13向远离夹臂A4的方向运动的弹簧A11,从而保证弹簧A11可以在钳口打开后自动复位。

夹臂B5的外侧设置有螺钉安装板14,螺钉安装板14上安装有螺钉A7,夹臂B5的外侧还设置有皮带9,皮带9的一端固定连接在夹臂B5的端部,皮带9的另一端绕过所述的辊子10后通过弹簧B8与螺钉A7的末端连接。通过螺钉A7调整弹簧B8的预紧力,可对皮带9承受的拉力进行调整,从而对夹紧块13的夹紧力进行调整,从而适应不同规格的晶片。

所述的夹臂A4上位于钳口的一端设置有劈尖1,用来将贴附在晶片上的包装材料或海绵拨开。

所述的夹臂A4的内侧设置有用于限制晶片位置的挡块3,防止晶片放偏。

所述的钳形夹持机构的钳口处设置有螺钉B6,螺钉B6安装在夹臂B5上的螺纹孔内,螺钉B6的末端抵在夹臂A4的内侧,通过螺钉B6可对钳口的开度进行调整。

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