[实用新型]一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置

权利要求书

1.一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置，包括待处理的电池片、位于电池片上方的喷淋装置及抽气装置，其特征在于所述喷淋装置为两组呈相对设置的喷淋装置，所述电池片置于两组喷淋装置之间，所述两组喷淋装置的两侧端均设置有抽气装置，在两组喷淋装置及四组抽气装置运行状态下，抽气装置对喷淋装置所喷淋的气体进行干扰，分别在电池片上方及电池片下方形成气氛区，从而对电池片双面进行有效钝化。

2.根据权利要求1所述的一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置，其特征在于所述喷淋装置包括壳体、位于壳体上方的钝化气体进气孔及位于壳体下方的喷淋板。

3.根据权利要求2所述的一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置，其特征在于所述壳体内设置有气体匀流板。

4.根据权利要求2所述的一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置，其特征在于所述钝化气体为臭氧（O3）强氧化性气体。

5.根据权利要求1所述的一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置，其特征在于所述抽气装置包括抽气孔及排气孔，所述抽气孔与喷淋装置的两侧端。

6.根据权利要求5所述的一种晶硅太阳能电池SiO2钝化工序用双喷淋装置，其特征在于其中一组喷淋装置两侧端的抽气孔与另一组喷淋装置两侧端的抽气孔相对设置。